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Chapter 3 Capacitive Sensor(电容传感器）; I. Working theory of capacitive sensor;Working theory of capacitive sensor;1 Capacity sensor based on variation of area(变面积式电容传感器）;转换原理;Characteristic of capacitive sensor based on variable of area;2 Capacitive sensor based on variation of plate separation(变极距式电容传感器) ;Characteristic curve of capacitive sensor based on variation of plate separation (变极距式电容传感器的特性曲线) ;变极距电容传感器;变极距式电容传感器 ;变极距式电容传感器 ;3.Capacitive sensor based on variable of dielectric (变介电常数式) ; 思考： 在电容器两极板间插入干的纸和潮湿的纸时，哪一种情况下的电容量大？可以用于测量什么非电量？;II. Measurement circuit of capacitive sensor （Frequency Modulation Circuit）;调频（FM）电路; 电容信号的变送处理;电容信号的变送处理; 电容信号的变送处理; 电容信号的变送处理; 差动脉冲调宽电路又称脉冲调制电路，如右图所示，利用对传感器电容的充放电使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化。当C1=C2时，输出电压Uo为等宽矩形波；当C1≠C2时，Uo为不等宽矩形波，其占空比的变化和差动电容的容量变化有关。通过低通滤波器就能得到对应被测电容量变化的直流信号。; 电容信号的变送处理; 电容信号的变送处理; 电容信号的变送处理;III. Application of Capacitive Sensor;1、电容式液位计;电容式液位限位传感器;液位限位传感器的设定;智能化液位限位传感器的设定按钮;2、硅微加工加速度传感器;微加工三轴加速度传感器;硅微加工加速度传感器原理 ; 利用微电子加工技术，可以将一块多晶硅加工成多层结构。在硅衬底上，制造出三个多晶硅电极，组成差动电容C1、C2。图中的底层多晶硅和顶层多晶硅固定不动。中间层多晶硅是一个可以上下微动的振动片。其左端固定在衬底上，所以相当于悬臂梁。当它感受到上下振动时，C1、C2呈差动变化。与加速度测试单元封装在同一壳体中的信号处理电路将ΔC 转换成直流输出电压。它的激励源也做在同一壳体内，所以集成度很高。由于硅的弹性滞后很小，且悬臂梁的质量很轻，所以频率响应可达1kHz以上，允许加速度范围??达10g 以上。如果在壳体内的三个相互垂直方向安装三个加速度传感器，就可以测量三维方向的振动或加速度。;加速度传感器在汽车中的应用 ;汽车气囊的保护作用;汽车气囊对驾驶员的保护作用;利用加速度传感器实现延时起爆的钻地炸弹;3 湿敏电容 (Humidity sensitive capacity);湿敏电容外形;湿敏电容模块及传感器外形;湿敏电容传感器的安装使用;多孔性氧化铝湿敏电容传感器外形 ;4 电容式油量表 ;电容式油量表; 该油量表可用于飞机油箱;5 电容式接近开关 (Proximity Switch) ;电容式接近开关;电容式接近开关外形;非齐平式接近开关的安装;全密封防水式;电容接近开关的规格;电容式接近开关在液位测量控制中的使用; 电容式接近开关在液位物位测量控制中的使用; 电容式接近开关在物位测量控制中的使用演示