6.TFT-LCD制造技术-清洗技术.pptxVIP

ＴＦＴ－ＬＣＤ 基础知识培训讲座 　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　;第三章 TFT-LCD制造技术;第四节　清洗技术简介; 清洗是指事前去除工艺中的基板污染或 Particle，使不发生不良 (Pattern open,short诱发/黑,白点…etc) 的工艺技术， 而且,通过 Glass 的有效 Cleaning，提高 Film间的 adhesion 效果及 Device的全般性特性向上。;Brush(Roll/Disk) ;4.2 Wet Cleaning;SW(shower)目的及清洗原理： SW(shower):是利用具有一定压力的DI water以喷淋的方式来清洗玻璃基板，主要用于去除一些浮游的以及1 μm以下的灰尘。在工程中的应用也极为广泛，经常与其他清洗设备搭配使用，可以用在RB后清洗剩余的化学清洗剂，也可以用来作为AK前的soft SW。在生产过程中主要的工艺控制参数有：SW的流量和压力，玻璃基板的传送速度等。主要的耗材有：虑塞，SW nozzle。 ;BJ(bubble jet)???的及清洗原理： BJ(bubble jet)：也叫CJ（cabitation jet）是利用加了高压的DI water与空气混合后所产生的大量bubble来去除particle的一种清洗设备。该设备可以用来去除3