医用传感器6概论.pptVIP

第6章 压电式传感器;等效电路及测量电路;第一节 压电效应;;;;;;;从晶体上沿XYZ轴线切下一片平行六面体的薄片称为晶体切片。当沿着X轴对压电晶片施加力Fx时，晶片将产生厚度变形，并在垂直于X轴的表面上产生电荷Qx，大小为;;当沿着y轴对压电晶片施加力Fy时，晶片将产生长度变形，电荷 Qy仍然出现在于X轴垂直的表面上，大小为;; 压电效应的物理解释 石英晶体SiO2，3个硅离子Si4+离子, 6个氧离子O2-。两两成对。微观分子结构为一个正六边形。垂直于X轴端面有无数个此分子结构。;（1）未受外力作用时, 正、负离子正好分布在正六边形的顶角上, 形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、 P2、P3。 如图 a所示。 P1+ P2+P3=0。正负电荷中心重合，晶体垂直X轴表面不产生电荷。呈中性。;（2）受x轴方向的压力作用时, 晶体沿x方向将产生压缩变形, 正负离子的相对位置也随之变动。如图所示, 此时正负电荷重心不再重合, 电偶极矩在x方向上的分量, 即（P1+P2+P3） 0 。 在x轴方向出现电荷, 在y轴和z轴方向上不出现电荷。;（3）受到沿y轴方向的压力作用时, 晶体的变形如图所示，电偶极矩在x方向上的分量, 即（P1+P2+P3）0 。 当晶体沿y方向受到作用力时，电荷将出现在x轴方向上, 在y轴和z轴方向上不出现电荷。;;石英晶片受压力或拉力时，电荷的极性如下图所示。 ;① 当晶片受到x方向的压力作用时，qx只与作用力Fx成正比，而与晶片的几何尺寸无关； ② 沿机械轴y方向向晶片施加压力时，产生的电荷是与几何尺寸有关的； ③ 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的； ④ 晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； ⑤ 无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之间皆呈线性关系。; ;由于经过极化处理的压电陶瓷其内部极化强度不为0，即在陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外界的自由电荷。这些自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反而数量相等。所以整体上表现为电中性。 ;如果在陶瓷片上加一个与极化方向平行的压力F，如图，陶瓷片将产生压缩形变，片内的正、负束缚电荷之间的距离变小，极化强度也变小。因此，原来吸附在电极上的自由电荷，有一部分被释放，而出现放电荷现象。 当压力撤消后，陶瓷片恢复原状，片内的正、负电荷之;;同样，若在陶瓷片上加一个与极化方向相同的电场，如图，由于电场的方向与极化强度的方向相同，所以电场的作用使极化强度增大。这时，陶瓷片内的正负束缚电荷之间距离也增大，就是说，陶瓷片沿极化方向产生伸长形变。 同理，如果外加电场的方向与极化方向相反，则陶瓷片沿极化方向产生缩短形变。 ;; 种类： 压电单晶体，如石英等； 压电陶瓷，如钛酸钡、锆钛酸铅等； 压电半导体，如硫化锌、碲化镉等。 对压电材料特性要求： ①转换性能。要求具有较大压电常数。 ②机械性能。希望它的机械强度高、刚度大，以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率。 ③电性能。希望具有高电阻率和大介电常数，以减弱外部分布电容的影响并获得良好的低频特性。 ④环境适应性强。温度和湿度稳定性要好，要求具有较高的居里点，获得较宽的工作温度范围。 ⑤时间稳定性。要求压电性能不随时间变化。 ;一、等效电路 ;因此可以把压电式传感器等效成一个与电容相并联的电荷源，如图a所示，也可以等效为一个电压源，如图b所示。 ;压电传感器的完整等效电路 （a） 电压源; （b） 电荷源 ;;;;;;当作用于压电元件的力为静态力（ω=0）时， 前置放大器的输出电压等于零， 因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉， 所以压电传感器不能用于静态力的测量。 ;;电荷放大器是一个具有深度负反馈的高增益放大器。根据理想运放的特征：;;;; 在实际应用中，由于单片的输出电荷很小，因此，组成压电式传感器的晶片不止一片，常常将两片或两片以上的晶片粘结在一起。粘结的方法有两种，即并联和串联。;并联方法两片压电晶片的负电荷集中在中间电极上，正电荷集中在两侧的电极上，传感器的电容量大、输出电荷量大、时间常数也大，故这种传感器适用于测量缓变信号及电荷量输出信号。;串联方法正电荷集中于上极板，负电荷集中于下极板，传感器本身的电容量小、响应快、输出电压大，故这种传感器适用于测量以电压作输出的信号和频率较高的信号。 ;;;;