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10-2光的干涉
§12-4 平行平板的双光束干涉;一、干涉条纹的定域
两个单色相干点光源在空间任意一点相遇,总有一确定的光程差,从而产生一定的强度分布,并都能观察到清晰的干涉条纹,这种干涉称为非定域干涉。
在扩展光源情况下,由光源上不同点源出发到达该点的产生双光束干涉的光程差不同,当光程差变化δΔλ/4的区域,条纹可见度下降,观察不到清晰的干涉条纹;而在 δΔλ/4的区域,尽管采用了扩展光源,仍可看到清晰的干涉条纹。能够得到清晰条纹的区域称为定域区(定域干涉)。
可见,定域干涉是和扩展光源的使用联系在一起,它本质上是一个空间相干性问题。;二、平行平板产生的等倾干涉;扩展光源上不同点S′发出的同倾角的光线,经平行平板分光后具有相同的光程差也到达P点,因此P处的不同组条纹没有位移,这样既保持了条纹很好的可见度,又因为使用扩展光源而增加了条纹的亮度。;倾角i相同的光线对应同一条干涉条纹 —等倾条纹。
其光程差越大,对应的条纹干涉级次越高,在中心处具有最高干涉级。
其角半径记为θ1N(条纹半径对透镜中心的张角)为:;三、楔形平板产生的等厚干涉
两个不平行平面的分振幅干涉,称为楔形平板的干涉。
(一)定域面及定域深度
楔形平板干涉条纹定域面的位置,也由;实际中扩展光源并非无穷大,即:;精确计算较困难,近似用平行平板的光程差公式来代替:;从以上亮纹或暗纹公式易导出,从一个条纹过渡到另一个条纹,平板的厚度变化为:;(适于平行光垂直入射);三. 等厚条纹的应用; 测细小直径、厚度、微小变化;(1)检测待测平面的平整度;(2).测量微小物体的厚度;例如用波长为589.3nm的钠黄光垂直照射长 L=20mm 的空气劈尖,测得条纹间距为;(3). 测量微小角度.;(4) 测量微小位移;例 用等厚干涉法测细丝的直径d。取两块表面平整的玻璃板,左边棱迭合在一起,将待测细丝塞到右棱边间隙处,形成一空气劈尖。用波长?0的单色光垂直照射,得等厚干涉条纹,测得相邻明纹间距为?L,玻璃板长L0,求细丝的直径。;[例]在半导体器件生产中,为测定硅片上的Si02薄膜厚度,将薄膜一侧腐蚀成劈尖形状,如图。用钠黄光从??气中垂直照射到Si02表面上,在垂直方向上观察Si02劈尖膜的反射光干涉条纹,看到有七条暗纹,第七条恰位于N处,问薄膜的厚度?
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