双光干涉法测sio2 层厚度及p-n结结深.pptVIP

双光干涉法测度 层厚度及p-n结结深;双光干涉法测sio2 层厚度及p-n结结深;实验概述;实验原理;2.空气劈尖双光干涉法 此方法用来测量非透明膜厚,以测量p-n结结深厚度为例.相关理论参考课本110-111页. 3.本次实验着重要求掌握6JA型双光干涉显微镜的原理及操作方法.在实验系统栏里有详细介绍.;实验系统;光源s发出的光经过分光板T后分为两束，一束经过分光板T，补偿板T1,显微物镜 O2后射向工件P2表面.由P2反射后经原路返回至分光板T，再在T上反射，射向观察目镜O3，另一束由分光板T反射后通过目镜O1射到标准镜P1上，由P1反射，再通过目镜O1并透过分光板T，也射向观察目镜O3。它与第一束光线产生干涉，于是透过目镜O3可以看到定位在工件表面上的干涉条纹。如下图所示. ;二.实验仪器如两图所示（从不同角度拍摄）; 旋纽代号 ; 一. 测dsio2-----透明膜厚度 1.调视场（测试准备）(操作按钮见前实验仪器) （6）旋至“干涉”位置，（10）顺时针旋到“目视”处；转动调节手轮（8），使视场下方“刀口象”清晰。 2.找物象 (6)旋至“物象”位置；将被测样品有膜面向下放在工作台（2）上。 2.1. 聚焦物象：转动（2c），使样品上下移动，得到清晰物象（清晰斑点）。 2.2. 找台阶：转动（2b），并同时平移（2a），直至看到台阶（有干涉条纹出现）。;3.找干涉条纹 再次转动（2c）聚焦，直至观测到更清晰的干涉条纹。 4.读条纹数N 注：公式dsio2=N*(λ/2*n)中的λ=5400A，是绿光波长，因为白光中绿光最强； n=1.46,为sio2的折射率；N: 条纹数 ; 二 测xj---结深（非透明膜） 1.调视场（测试准备） （6）调至“干涉”位置，（10）顺时针调到“目视”处； 转动调节手轮（8），使视场“刀口象”清晰。 2.找物象 (6)旋至“物象”位置；将被测样品有膜面向下，放在工作台（2）上； *2.1 聚焦物象：转动（2c），使样品上下移动，得到清晰物象； *2.2 找台阶：转动（2b），并同时平移（2a），直至看到台阶； *3.找干涉条纹 将（6）调至“干涉”处，再细心的来回旋转（14），直到看到条纹。 ;4.干涉条纹方向及宽度的调整 调节（7/7a）、（9），使干涉条纹方向与台阶垂直，并将干涉条纹调到合适的宽度。再调节（8），使干涉条纹更清晰。 5.测量及读数 松开(1b)，转动（1），使视场中的十字线之一与干涉条纹平行；旋动(1a)至适当的位置，再在（1a）上进行读数，得到条纹宽度a及条纹弯曲量b的数据。 注：公式xj=(b/a)*(λ/2)中的λ=5400A，读绿光的a和b ;数据处理;实验重难点