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计量人员培训教材粗糙度测量讲义主讲:谷卫华中航一集团第三○四所第一节测量方法一、粗糙度测量方法与测量仪器结构与原理:二、粗糙度参数的评定:评定方法及评定原则三、粗糙度参数四、规程第一节测量方法一、比较测量表面粗糙度比较样块(以下简称样块)是用来检查制件表面粗糙度的一种工作量具。其使用方法是以样块工作面的表面粗糙度为标准,凭触觉(如指甲)、视觉(可借助于放大镜、比较显微镜)与被检制件表面进行比较,从而判断制件表面粗糙度是否合乎要求。在进行比较时,所用的样块和被检制件的加工方法应该相同,同时样块的材料、形状、表面色泽等也应尽可能与被检制件一致。判断的准则是根据制件加工痕迹的深浅来决定表面粗糙度是否符合图纸(或工艺)要求。当被检制件的加工痕迹深浅不超过样块工作面加工痕迹深度时,则被检制件的表面粗糙度一般不超过样块的标称值。第一节测量方法一、比较测量表面粗糙度比较样板、比较的注意事项第一节测量方法一、比较测量表面粗糙度比较样板、比较的注意事项比较样板的加工方法与被测的加工方法相同比较样板的参数值与被测的参数值接近校准表面粗糙度比较样块时,需要计算出。1、Ra的平均值2、平均值对标称值的偏移量3、平均值的标准偏差第一节测量方法二、光切法测量第一节测量方法第一节测量方法第一节测量方法三、干涉法测量图6-17光干涉法测量原理L—光源:T—被测表面:R—参考镜:BS—分光镜O—物镜:V—观测方向a图单目镜双光束干涉显微镜,中分光镜在目镜和被测表面之间,目镜与被测表面之间的距离大,所以其数值孔径和放大倍数都不能大,分辨率较低,难于测量粗糙度值小的表面。第一节测量方法三、干涉法测量图6-17光干涉法测量原理L—光源:T—被测表面:R—参考镜:BS—分光镜O—物镜:V—观测方向图b为双物镜双光束干涉显微镜,由于分光镜放在物镜和目镜之间,物镜与被测表面之间的距离可以很小,从而物镜的数值孔径大、倍率高,分辨率高,适于测量粗糙度值小的表面。第一节测量方法三、干涉法测量使用干涉显微镜测量表面粗糙度,调整干涉条纹及在高精度测量时,干涉光的颜色有白光、红色光、橙色光、绿色光,应尽量选用绿色光第一节测量方法由光波干涉原理可知:在等厚干涉的条件下用一平晶与被测工件表面成一定的楔角,那么就可以得到明暗相间的干涉条纹,而相邻暗条纹对应的空气层的厚度变化h为:式中:为光波波长。当楔角变小时,条纹变宽、变疏,反之变窄、变密。但不论条纹变宽变窄,相邻两暗条纹对应的厚度变化不变,第一节测量方法显然当被测表面是理想的平面时,任一干涉条纹都呈一条直线,而且相互平行。如果表面有凹凸不平,如图所示的被测表面有一凹槽,那么干涉条纹也呈现相应的弯曲。此时凹槽深度可由干涉条纹凹入深度a和相邻二暗条纹的间距b的比值来确定,即第一节测量方法在干涉显微镜中所得到的干涉条纹图像,其垂直放大倍率是可随意调整改变。这个放大被率不是仪器物镜的倍率、改变不了仪器的分辨率。用干涉显微镜测量球形表面粗糙度时,干涉图像中的条纹间距不相等,这是由于光程差造成第一节测量方法使用干涉显微镜测量表面粗糙度,调整干涉条纹及在高精度测量时,干涉光的颜色有白光、红色光、橙色光、绿色光,应尽量选用绿色光第一节测量方法四、触针扫描测量第一节测量方法接触式测量粗糙度仪传感器触针的针尖圆锥角有60°、90°第一节测量方法传感器的工作原理 第一节测量方法传感器的工作原理压电式传感器第一节测量方法传感器的工作原理激光式传感器第一节测量方法传感器的工作原理残余轮廓:通过测量一个理想的光滑表面平晶而获得的原始轮廓虚假轮廓是由导向基准的偏差,外部和内部的干扰以及轮廓传输中的偏差组成的,没有专用设备和适合的环境一般不能确定这些偏差的原因静测力的变化:针尖上下垂直移动时,测量力的变化.静测力的变化率触针针尖半径为2m传感器触针静态测量力0.0075N第二节、粗糙度参数的评定某一零件的某一表面图纸上规定的是某种形状(如平面、球面、柱面等)的几何表面,但加工后的实际表面与几何表面相比存在着几何形状误差,如图a所示。可以把实际表面相对理想几何表面的几何形状误差按峰谷起伏大小和节距大小分为表面粗糙度、波度和宏观形状误差。表面粗糙度是指由加工方法在加工表面所产生的微观形状误差,也称微观不平度,如图b所示。波度是指表面峰谷起伏中间距较宽并呈现出周期性的成分。如图c所示。波度是由机床或工件的偏摆,振动等造成的。宏观形状误差是指除粗糙度和波度之外的与理想几何表面的偏差,如图d所示。零件上的不平度,不直度,不圆度等就是此类误差。第二节、粗糙度参数的评定1、中线粗糙度的基准:中线,具有几何轮廓形状并划分轮廓的基准线最小二乘中线是具有几何轮廓形状并划分轮廓的基准线,是指在取样长度内使轮廓线上各点到该中线的距离Yi(称为
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