使用三轴精密数控磨床的镜面陶瓷磨削探析.doc

三轴数控磨床的镜面陶瓷磨削 摘要:在这篇文章中，利用陶瓷材料如Si3N4和Al2O3-TiC等实现了工件平均表面粗糙度小于10nm的水平。针对这套磨削操作系统，已设计和制造出了三轴数控研磨机床。磨床由空气轴、高阻尼树脂混泥土底座和一个三轴数控控制器带有高分辨交流伺服系统组成。磨床的动态特性，如轴的固有频率和阻尼均已通过实验测量。同时，利用光整加工使得砂轮平直度为1μm的精确度取得了有效的提升。?1997爱思唯尔的科学有限公司 1 简介 随着由硬脆材料组成的超精密零部件已经越来越多的被当今社会所利用，关于结构的制陶技术、电子的制陶术、光学玻璃和热加工钢铁已经逐步成为一项重要的研究领域。然而，研磨那些硬脆材料使用传统的研磨机是非常困难的，况且是超精密研磨。单点切断工件已经有效的应用于切断柔软的材料，但是不能用于硬脆材料。金刚石或CBN材料的研磨轮或许可以应用于这些硬脆材料，只要精度没有要求在亚微型。 近期，通过铸铁纤维结合金刚石砂轮研磨和电解加工（ELID）方法的发展使得超精密研磨那些硬脆材料逐步成为可能。通过这种方法，已经得到了硬脆材料的光滑镜面。这些镜面的表面粗糙度和形状精度已经分别达到了纳米和亚微型水平，为研磨机床提供了合适的静态和动态性能。因此，提高超精密研磨机床的刚度和高精确度以便用于脆硬材料的镜面磨削非常重要。同时，适用于特殊的陶瓷和机床的ELID的机械加工参数的测量也非常重要，因为机床的磨削由复杂的元素组成，比如滚珠丝杠、线性运动导向块等。 在这篇文章中，陶瓷材料的镜面磨削，如Si3N4 和 Al203-TiC材料应经完成得到。对于磨削操作，原始型的三轴超精密数控研磨机已经设计和制造出。因为机床的底座与整体的动态刚性有很大的牵连，所以设计和制造出树脂凝结剂机床底座来提高它的动态性能。研磨机床的特性评价由研磨机床磨削硬脆材料时的振动测试完成。 2、研磨机床的设计 对于高的旋转精度和平滑进给运动，超精密研磨机床的轴和进给原理机制应当具有较高的刚度和低摩擦阻力。同时，结构材料也必须具备高刚度和高阻尼。由于空气静压主轴具有较高的旋转精度，因此已经广泛应用于超精密机床。在这篇文章中，因空气轴箱内有发动机驱动，具有高速转动和低摩擦功能而被选用。所构建的发动机类型去除了轴的装配以及携带发动机的困难，尽管未来轴的趋势是提高它的抗温性能。这台机床在X轴的行程长400mm,Y轴为250mm，Z轴为300mm。 这台机床的最大功率为1.1KW，主轴的转速在3400r/m到10000r/m之间。轴的转速取决于转换的频率。主轴的径向最大承受力为600N，轴向承受力最大为430N。在铸铁纤维（CIFB）结合金刚石砂轮使用ELID加工，使得剪切力在20N到50N之间，这样的主轴机床是适合用于镜面磨削加工的。 滚珠丝杠和线性导向块是用于进给装置。三轴的位姿由交流伺服电动机和CNC管理控制，它们是由日本的FANUC公司制造。相对坐标的模型确定是用于伺服电动机的控制。每转50000脉冲用于工作平台和拖具运动，每转100000脉冲用于主轴箱。图1表示磨床用于超精密加工的图示。 这台机床的树脂结合剂的底座由混合的环氧基树脂、沙和卵石制造。为了得到最适宜的材料性能和重量比例去构造超精密研磨机床的底座已通过数次实验来完成了。发现最适宜的重量比例是50%的卵石、42.5%的沙和7.5%的环氧基树脂。这项工作中，环氧基树脂使用的是韩国IPCO公司的IPCO 410树脂和IPCO 183变硬系统。为了评价由树脂凝结成的 图1 用于超精密加工磨床的图示 底座与铸铁底座、单一的由树脂和铸铁凝结成的底座性能相比较。表1展示了树脂结合剂底座和铸铁结合剂底座性能的比较。当树脂重量比例合成为7.5%时，它的热量膨胀系数与铸铁和阻尼比率是9倍的铸铁底座一样。由于这种具有特殊系数的树脂结合剂底座比铸铁结合剂底座小，因此在同等的刚度情况下它可能在某些区域更薄。然而，在这种情况下树脂凝结的底座动态系数也将变得更高，因为动态系数是材料的模数和阻尼的比。图2展示了树脂结合剂底座和铸铁底座的频率响应。机箱形状的选择是为了提高床身的弯曲度和扭转度。底座由最合适的比例树脂凝结而成。 表1 铸铁和树脂凝结的比例 铸铁 树脂凝结 阻尼因素 0.04～0.05%(处于I000 Hz) 1.3～1.4%(处于I000 Hz) 模数（E） 95GP