电容式传感器浅析.ppt

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第八章 电容式传感器;8.1 电容传感器的工作原理;图8-1 平面位移型电容 ;2.角位移型 其结构图见图8-2所示。;图8-3 变介质面积型电容传感器;图8-4 变极距d式电容传感器 1-定极板;2-动极板;3-介质;;要获得较大灵敏度k,则应使d0小,但d0太小时,电容的相对变化量和非线性误差要增大。且d0太小,电容器易引起击穿或短路,故k与ef在d0取值时是矛盾的。 解决方法: 1)电容器击穿问题方法:可在定极板上(或极板间)放置一层介电常数值高的介电物质,如云母、塑料等。 2)实际应用中,为提高灵敏度,减小非线性,以便于连接测量电桥,一般采用差动式结构。如图8-3所示。;图8-6 变d型差动电容传感器结构示意图;8.3 电容传感器应用中需注意的问题;2、其他问题 在上节各种电容传感器的分析中还忽略了边缘效应的影响,边缘效应的存在不仅使电容传感器的灵敏度降低,而且产生非线性。为消除边缘效应的影响,可采用带保护环的结构。 电容式传感器两极板间因存在静电场而作用有静电引力或力矩。静电引力的大小与极板间的工作电压、介电常数、极间距离有关。通常这种静电引力很小,但在采用推动力很小的弹性敏感元件情况下,须考虑因静电引力造成的测量误差。 环境温度的变化将改变电容传感器的输出相对被测输入量的单值函数关系,从而引入温度干扰误差。;这种影响主要有以下两方面:温度对介质介电常数的影响和对结构尺寸的影响。温度对介电常数的影响随介质不同而异,有些介质如空气、云母等的介电常数温度系数近似为零,有些介质的介电常数温度系数则相对较大,故采用此类介质时需考虑温度变化造成的误差。电容传感器因极板间隙很小而对结构尺寸的变化特别敏感。在传感器各零件材料线胀系数不匹配的情况下,温度变化导致极间隙较大的相对变化,从而产生大的温度误差。一般在设计电容式传感器时,适当选择材料及结构参数,可满足温度误差补偿要求。 对寄生电容一般可采用驱动电缆法,整体屏蔽法和采用组合式与集成技术来解决。;8.4 电容传感器的测量电路;电容传感器变压器电桥原理图 ;输出电压灵敏度??; 双T二极管等效电路;双T二极管电路具有如下特点和要求: a)电源、传感器电容,以及输出电路负载电阻其一端需共地; b)VD1、VD2尽量为理想二极管,要求特性完全相同,均工作在伏安特性线性段; c)电路灵敏度与电源幅值与频率有关,需对电源采取稳压,稳频措施; d)输出阻抗与R1、R2为同一数量级,与C1和C2无关; e)RL影响电容放电速度,用于动态测量时,应取值小一些; f)传感器频率响应取决于电源频率。;2、调频电路 这种电路将传感器电容与有一电感元件配合的放大器组成一个调频振荡器。如图为调频—鉴频电路原理图。由L、Cx、C0组成一并联谐振回路,其中Cx为传感器电容,C0为固定电容,振荡频率由下式决定。;因△Cx是受被测输入量影响,所以振荡器输出的是一个频率受输入信号调制的高频调频波。此调频波经鉴频、放大后输出,根据输出量与调频波频率关系可测出传感器电容的变化。;3、脉冲宽度调制电路;;8.5 电容式传感器的应用;3.电容式液位计;;工作原理如下: (1)当水塔中的水位到达x1时,即水快要用完时,电源接通Cx、Cr,分别经R1,R2由电源-Ucc充电,Cr上充电电压为下正上负。由于CxCr,且此时因水位低,Cx比较小,故Cx上的电压很快上升到Ur使比较器A1首先由高电平翻转为低电平。T3导通,绿灯亮,继电器激磁,接通抽水电动机,开始向水塔抽水。同时由于T3集电极高电平,使T4截止,黄灯不亮。 (2)在抽水的同时,Cr继续充电。当水塔的水位到达X2时,即快要抽满时,Cr的电压上升到Ur,使比较器A2由高电平翻转为低电平,使T1,T2均导通,红灯亮,说明水塔里的水已加满。由于T1,T2均导通,Cx、Cr上所充电压经开关管T1,T2迅速放电。因CxCr,故U1迅速下降到Ur ,使比较器A1首先由低电平翻转为高电平,T3;截止,绿灯灭。J3失磁,断开电动机电源,抽水机停止抽水。同时,使T4导通,黄灯亮,说明水塔能正常供水。另外,由于U1下降到零,T1与T2截止,红灯灭。 (3)当Cx放电使U2下降到Ur时,比较器A2由低电平翻转为高电平,T1、T2截止,红灯灭;Cx、Cr放电结束。由-UCC对其充电。 (4)当水塔中的水位下降到x1时,Cx上所充电压上升到Ur,又由高电平翻转为低电平,T3导通,抽水,重复上述过程。图(b)所示结构适用于测量导电液体的液位。在液位变化时,相当于外电极2的面积在改变,它是一种变面积型电容传感器。;4.电容式料位计 图为用电容传感器测量固体块状、颗粒状及粉末料料位的电容料位计。由于固体摩擦力大,容易“滞留”,

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