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单元1 半导体器件的理论基础;1.1 半导体基础;(2)具有负的温度系数,即电阻一般随温度上升而下降;金属的电阻随温度上升而上升。;(5)具有光敏性,用适当的光照后材料后电阻率会发生变化,产生光电导;;;二、半导体与金属中的载流子;半导体中的载流子有电子和空穴;本征半导体:;在室温(T=300K)下:
ni (Ge)≌2.4×1013cm-3
ni (Si) ≌1.5×1010cm-3
ni (GaAs) ≌1.6×106cm-3;本征载流子浓度和样品温度的关系;杂质半导体:
本征半导体内掺入微量的杂质,使半导体的导电能力显著变化,这种半导体称为杂质半导体;多数载流子: P型半导体中的空穴、 N型半导体中的电子称为多数载流子
少数载流子: P型半导体中的电子、 N型半导体中的空穴称为多数载流子;杂质半导体中的载流子来源于:本征激发和杂质电离;n型Si中电子浓度n与温度T的关系:;半导体导电具有热敏性,因此器件都有一定的工作温度 ;1.2 PN结;;合金法——形成突变结,杂质浓度、掺杂厚度不易控制,早期电力半导体器件采用
扩散工艺——形成缓变结,大功率电子器件采用
离子注入 ——最高注入深度只有20um,只在电力半导体器件制造业中小范围使用
外延生长——容易获得理想的突变结,但生长层越厚,晶体结构的完美性越不易保证,对衬底表面要求较高,因而在电力器件,特别是高耐压的器件制造工艺中较少采用,但在功率集成电路和一些新型的电力器件制造工艺中则被普遍采用,如快恢复二极管。;2. PN结的单向导电性;3. PN结的穿通;空间电荷区;4. PN结的反向击穿;雪崩击穿
齐纳击穿
热击穿; 雪崩击穿;击穿机理:
反向电压VR↑—空间电荷区内电场强度↑ — 载流子漂移运动的动能↑—与晶体原子发生碰撞使之电离 — 空间电荷层载流子浓度↑ (数目倍增)—反向电流IR ↑ — 单向导电性遭到破坏(击穿); 雪崩击穿通常发生在空间电荷区较宽的轻掺杂一侧,对于单边突变结,雪崩击穿电压UB随着轻掺杂区的杂质浓度的升高而下降。如硅P+N结的雪崩击穿电压:
UB=1.69×1018N-3/4;2、齐纳击穿(隧道击穿);特点:;雪崩击穿和隧道击穿的主要区别;3、热击穿;5、PN结的热效应;Temperature Effects; PN结的反向电流会随着结温的上升而增大。
温度升高还会使得PN结的雪崩击穿电压UB提高。;6、PN结的电容效应;1、势垒电容(CT) :
PN结外加电压变化—空间电荷层宽度变化—PN结空间电荷层电荷量变化—电容效应
势垒电容在外加电压变化时才起作用,外加电压频率越高,势垒电容的作用越显著。势垒电容的大小与PN结截面积成正比,与阻挡层的厚度成反比
;2、扩散电容CD:
PN结耗尽层外扩散长度内存储的电荷数,随外加电压变化,正向电流越大,存储的电荷越多。亦表现出电容效应。称为扩散电容
;3、CT、CD随电压在CJ中所占的比例:
正向偏置条件下,当正电压较低时,扩散运动较弱,势垒电容占主要成份;正向电压较高时,扩散运动加剧,使扩散电容按指数规律上升,成为PN结的主要成份。
反向偏置状态下,因扩散运动被抑制,因而表现出较小的扩散电容,因此PN结电容以势垒电容为主。;C;??P区向N区注入空穴,在N区形成少数载流子积累,与N区的电子复合而形成少子浓度梯度,随着正向电流的上升,少数载流子的积累增多,少子浓度梯度变缓。少子空穴浓度分布在大部分高阻N区。因为注入的少子浓度远高于N区的平衡少子浓度,因而使得N区的电阻率下降,电导增加。;;;在开态时,流过负载的稳态电流为I1 ; 把二极管作为开关使用时,若回路处于开态,在“开关”(即二极管)上有微小压降;当回路处于关态时,在回路中有微小电流,这与一般的机械开关有所不同。;LP;存储时间ts:反向电流基本不变
下降时间tf:电流由IR降至0.1IR所经历的时间
反向恢复时间:toff= ts + tf;设由P+区通过空间电荷区注入N区的空穴数目在时刻t为NP(t),单位时间内因复合而在N区消失的空穴数在时刻t时为NP(t)/τp,而单位时间内积累在N区中的空穴数目在时刻t时则可用NP(t)随时间改变的微分速率d NP(t)/dt来表示。;存储时间 t s主要有两个因素决定
一是存储区少数载流子寿命。
二是正向注入电流和反向抽取电流的相对大小。;提高PN结开关速度的途径:
一、从电流角度考虑,可以减小正向注入电流和增大抽取电流(即初始反向电流 )IR。
二、从结构角度考虑,就是降低少数载流子的寿命。器件制
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