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第4章 MEMS设计中的尺度效应 Scaling laws of MEMS;A MEMS designer needs to be aware of a number of wide ranging issues and cannot rely solely on macroworld engineering experiences and training when considering the implementation of a MEMS design. System parameters will change in relative importance as the system scale is reduced.;MEMS不仅指以微型化为基本特征,更重要的是,MEMS具有自身独特的理论基础。微器件中的物理量和机械量等在微观状态下呈现出异于传统机械的特有规律,这种变化可被定义成广义尺度效应,即通常所说的尺寸效应。 在微观领域,与特征尺寸的高次方成比例的惯性力、电磁力等的作用相对减小,而与特征尺寸的低次方成比例的弹性力、表面张力和静电力的作用显著,表面积与体积之比增大,因而微机械中常常采用静电力作为驱动力。 ; 尺寸效应对MEMS的影响：在当前MEMS所能达到的尺度下，宏观世界基本的物理规律仍然起作用，但由于尺寸缩小带来的影响，许多物理现象与宏观世界有很 大区别，相应物理量的作用可能发生急剧变化，而且与尺寸不一定成线性关系。 原先在宏观结构中占主导作用的物理量在微结构和器件中的作用可能下降，而另一些 次要作用力却上升到主导地.;;研究MEMS设计中的尺寸效应主要解决三个问题。 首先,充分认识哪些宏观领域理论可以沿用,这些理论所占比例有多大,是否起着重要作用。 第二,了解随着特征尺寸的不断减小,在宏观领域不太明显的量,在微观领域其相对作用显著增强,如静电力和表面张力等。 第三,研究宏观理论对哪些量不再适用,如介质连续性理论在微观领域不成立，需要重新修正。这些问题可以采用传统方法来研究解决,即实验、计算机模拟仿真和理论建模。 ;1. 尺度的基本概念;用于微系统的设计尺度规律;微系统设计中常涉及的物理量： 体积：体积与器件的质量和重量有关 表面积：表面特性与流体力学中的压力和浮力有关,与对流热传导中固体热吸收和耗散有关。 在一个尺度减小的过程中，同等地减小一个物体的体积和表面积是不可能实现的。; 下图是一个实心长方体的例子。abc，体积V=abc，表面积S=2×(ac+bc+ab)。如果l 代表一个固体的线性因次， 那么体积V∝l3 ， 表面积S∝l2 ，;So, an elephant can never fly as easily as a dragonfly!!;例题4-1;解：;当尺寸减小50％时，镜子的惯性质量矩为： ;2. 刚体动力学中的尺度;Trimmer力尺度向量 ;根据上式可得;功率密度P/V0 ; 由上列一系列的公式，可得出一系列的刚体动力 学的尺度效应，如表所示。;例题4-2;解：;3.静电力中的尺度 ;(1)研究静电势能的尺度规律;根据Paschen(帕邢定律)效应，平行板的击穿电压V随两平板的间隙变化而变化。该效应如图所示。;从图可知： ;当工作范围d10μm时，可知所加的电压V∝d， ε0、εr∝l 0 。可把式中静电势能的尺度 表达为 ;(2)研究静电力的尺度规律;例题;解：;4.电磁力的尺度;;恒定电流流动情况，则电磁力表示为 ;5.电学中的尺度;从物理规律得出电的尺度规律：; 由电阻功率损失的表达式可知，由于材料的电阻引起的功率损失服从一阶定律，即P∝l1 对一个带有电源的系统，可获得的电源与系统的体积直接有关，即Eav∝(l)3 功率损失与可用能量的比率为;结论：;6. 流体力学尺度问题;如图中的粘度表示为 ;例题;7.热传递中的尺度;(1)热传导中的尺度 ;更一般的固体热导率的形式为; 固体在亚微米尺度内热流的尺度规律可通过合并上面两个式子得到;例题;解：;（2）热对流中的尺度;由第五章可知，热传递系数主要与流体速度有关， 与热流的尺度关系并不重要。 根据上式，热流总量主要与横截面积A有关，而 面积的阶次为l 2 。因此，可得出流体在介观和微观 范围对流热传递的尺度为Q∝(l2)。;在亚微米范围内热对流的尺度;气体的热导率与气体分子的平均自由程λ有关, 平均自由程与气体质量密度的倒数成正比;有效热通量计算公式为;结束