EBSD 应用.ppt

第一节 电子背散射衍射技术及其应用概述 第二节 电子背散射衍射技术相关晶体学取向基础 第三节 电子背散射衍射技术硬件系统 第四节 电子背散射衍射技术原理及花样标定 第五节 电子背散射衍射技术成像及分析 第六节 电子背散射衍射技术数据处理;第一节 概 述 ;EBSD的发展大致经过以下几个阶段： (1)1928年，日本学者Kikuchi在透射电子显微镜中第一次发现了带状电子衍射花样，花样由遵循一定晶带分布规律的亮带所组成，亮带的宽度同所属晶面的布拉格角成正比。在扫描电镜的背散射电子衍射中同样发现了这种电子衍射花样，称为背散射电子衍射花样。由于这种花样状似菊花，故又称为菊池花样。 (2)1972年，Venables和Harland在扫描电镜中，借助于直径为30cm的荧光屏和和一台闭路电视，得到了背散射电子衍射花样。 (3)19世纪80年代后期，Dingley把荧光屏和电视摄像机组合到一起，组成了EBSD的前身，并以此得到了晶体取向的分布图。之后应用计算机标定取向、并成功地将EBSD技术商品化。 (4)20世纪90年代初在人工手动确定菊池带的基础上，人们先后成功研究出自动计算取向、有效图像处理以及自动逐点扫描技术来确定菊池带位置和类型(包括Hough变换利用成功、1992年OIMTM注册商标化，ACOM的出现)。 (5)90年代后期，能谱分析和EBSD分析的有效结合使相鉴定更加有效和准确。 (6) 2000年以后EBSD标定速度的大幅提升，加快了EBSD的发展和推广。 ;第二节 电子背散射衍射技术相关晶体学取向基础 ;按照相邻两晶粒间位向差的形式不同，小角度晶界可分为倾斜晶界、扭转晶界和重合晶界等，它们的结构可用下面相应的模型来描述。 a)对称倾斜晶界。对称倾斜晶界可看作是把晶界两侧晶体互相倾斜的结果。由于相邻两晶粒的位向差θ角很小，其晶界可看成是由一列平行的刃型位错所构成，如图14-1所示。 ;b)不对称倾斜晶界。以简单立方结构为例，如果倾斜晶界不是接近(100)面，如界面绕x轴转了一角度Φ，则此时两晶粒之间的位向差仍为θ角，但此时晶界的界面对于两个晶粒是不对称的，故称不对称倾斜晶界。它有两个自由度θ和Φ。该晶界结构可看成由两组柏氏矢量相互垂直的刃型位错交错排列而构成，如图14-2所示。;c)扭转晶界。它可看成是两部分晶体绕某一轴在一个共同的晶面上相对扭转一个θ角所构成的，扭转轴垂直于这一共同的晶面。该晶界的结构可看成是由互相交叉的螺型位错所组成，如图14-3所示。扭转晶界和倾斜晶界均是小角度晶界的简单情况，不同之处在于倾斜晶界形成时，转轴在晶界内；扭转晶界的转轴则垂直于晶界。一般情况下，小角度晶界都可看成是两部分晶体绕某一轴旋转一角度而形成的，只不过其转轴既不平行于晶界也不垂直于晶界。对于这样的小角度晶界，可看作是由一系列刃位错、螺位错或混合位错的网络所构成。; 早期的大角晶界模型是皂泡模型，认为晶界由大约3～4个原子间距厚的区域组成，晶界层内原子排列较差，具有比较松散的结构，原子间的键被打断或被严重扭曲，具有较高的界面能量。此外，早期也曾提出另外两种模型：一是过冷液体模型，认为晶界层中的原子排列接近于过冷液体或非晶态物质，在应力的作用下可引起粘性流动，但发现只有认为晶界层很薄(不超过两三个原子厚度)时才符合实验结果；第二个模型是小岛模型，认为晶界中存在着原子排列匹配良好的岛屿，散布在排列匹配不好的区域中，这些岛屿的直径约数个原子间距，用小岛模型同样也能解释晶界滑动的现象。 ;[001];　 理论上，大角晶界可以分为特殊大角晶界和任意大角晶界两类。特殊大角晶界的能量比任意大角晶界低，亦即当在某些特殊取向角下，晶界上相邻的点阵匹配的较好，此时晶界表现出较低的能态。 最简单的特殊大角晶界是共格晶界。如果界面上的原子正好位于两晶体的晶格结点上，就形成了共格晶界；当两个晶粒的取向互为对称时，就形成了共格孪晶界。对于孪晶界，如果不是精确地平行于孪晶面，界面上的原子将不能和它邻接的两个晶粒很好地匹配，这种界面称为非共格孪晶界。;二、相界面 ;三、晶体取向坐标建立 ; 设一个空间样品坐标系，由轧板的RD(rolling direction，轧向)一TD(transverse direction，侧向或横向)一ND(nomal direction，法向)构成。三个方向互相垂直。同时再设一个晶体坐标系，以简单立方晶体为例，由3个互相垂直的晶轴[100]、[010]和[001]组成，如图14-5所示。; 取向的含义是两个坐标系即样品坐标系和晶体坐标系各轴相互间的位置关系，这种位置关系可以用相互之间的夹角表示。 以[100]为例，假设 晶体坐标系的——[100]和样品坐标系的RD，TD和N