SEM非选择性电极答题.ppt

SEM/EDX原理及构造;第一部分 扫描电子显微镜; 扫描电子显微镜的简称为扫描电镜，英文缩写为SEM (Scanning Electron Microscope)。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。SEM与能谱EDX(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)组合，可以进行成分分析。;1. 扫描电镜的工作原理及特点 在硬币或树叶上覆盖一张薄纸、在上面一边用铅笔左右擦写、从上面一点一点往下移动的话，纸上就会浮现出硬币或树叶的形状，这个是众所周知的。 SEM的原理也类似于此。只是相当于铅笔的是电子束（电子线）、用此电子束在試料的表面左右晃动，一边从上往下扫描（Scan）、把其表面的凹凸转变成画像。;2. 扫描电镜的主要结构;L;SEM外观;真空系统;;扫描电镜成像示意图;3.电子与固体试样的交互作用;样　　品;各种信息的作用深度 ;　二次电子像 　背散射电子像;二次电子与背散射电子;背散射电子与二次电子的信号强度与数量的关系;背散射电子与二次电子的信号强度与Z的关系;1．二次电子象;　　凸凹不平的样品表面所产生的二次电子，用二次电子探测器很容易全部被收集，所以二次电子图像无阴影效应，二次电子易受样品电场和磁场影响。二次电子的