电气检测技术(新6).ppt

4.3电容式传感器 工作原理： 利用电容器的原理，将一些非电物理量转化为电容量，实现非电量向电量的转化及测量。 应用领域： 广泛用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密 测量，且逐步扩大应用于压力、液面、成分含量等方面 的测量。 特点： 结构简单，体积小，分辨率高，可进行非接触测量等。;一、基本工作原理 电容式传感器是一个具有可变参数的电容器。忽略 边缘效应，可得到平板电容器的电容为： ----- 平行板间介质的相对介电常数 ----- 真空介电常数 ----- 平行板间介质的介电常数 ----- 两平行板所覆盖的面积 ----- 两平行板之间的距离 ----- 电容量 ;3;4; 电容式传感器的分类： 变面积型、变间隙型、变介电常数型 实际的使用中，电容式传感器通常以改变平行板极间 的距离来进行测量，因为这样获得的测量灵敏度要高于 改变其他参数的电容传感器的灵敏度。 改变平行板间距的电容传感器可以测量微米数量级的位移，而改变面积的传感器只适用于测量厘米数量级的位移。 ;变面积式电容传感器;二、电容式传感器的结构类型及主要特性 1、变间隙型 电容的电容量： 电容的相对变化量： 传感器的灵敏度为： 电容传感器的电容相对变化实际关系： ;说明： 1、从灵敏度公式中可看出，当板极间的初始距离d较 小时，对于同样的板极间距离变化△d所引起的电容量的 变化△C可以增大，从而使传感器的输出灵敏度提高；不 过当板极间初始距离d过小时，容易引起电容器被击穿； 2、一般电容式传感器的初始电容在 之间，板极间距离在 范围内，最大位移应该小于间距的1/10。 3、这种结构非线性误差较大 ;2、变面积型 变面积型(角位移变面积型、板状线位移变面积型、筒状线位移变面积型）电容传感器的电容量的变化值与位移（角位移、线位移）呈线性关系。 3、变介电常数型 改变电容极板之间的介电常数，用于测量物位、含水量和成分等。; 因为各种介质的相对介电常数不同，所以在电容器两极板间插入不同介质时，电容器的电容量也就不同。;4、差动电容式传感器 初始： 差动电容传感器的电容变化为： ; 三、测量电路 电容式传感器的测量电路较多，通常采用的包括电 桥电路、调频电路、差动脉冲调宽电路以及运算放大器电路等。 ;1、电桥电路 电桥采用稳定频率、稳定幅 度、固定波形的信号源(低内阻) 激励，经电流放大和相敏整流得 到直流输出信号。 ; 电桥平衡条件为： 电桥输出电压为： -------为电容的耗损电阻 ------为差动电容的变化量 -------电容的初始值 ------- 、 的等效阻抗 ;2、调频电路 调频测量电路就是把电容式传感器作为振荡器谐振 回路的一部分，当输入变化导致电容量发生变化时，振 荡器的振荡频率就发生变化。 ;振荡器的频率为： ------- 为振荡回路的固有电容； ------- 为传感器引线的分布电容； ------- 为传感器的电容 ------- 为传感器电容的变化量; 被测信号为0时，传感器电容的变化为0，振荡器的固有频率为： 被测信号不为0时，传感器电容的变化为 ，振荡器的输出频率为： 频率的变化通过鉴频器后变换为振幅的变化，幅值经过一定的放大后就可以进行输出。 ;3、差动脉冲调宽电路 C1、C2为差动电容传感器 A1、A2为比较器 D为双稳态RS触发器 Ur为参考电压 ;电路说明： 初态：A：高电位；B：低电位；R、S：低电平 1、A高电位时，对电容C1充电，G处于低电位，当C1 上的电压(F点电压)满足 时，比较器A1输出高 电平， A1保持输出低电平，即触发器的控制输入端S=1、R=0，触发器翻转 、