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第五章 电容式传感器 第一节 电容式传感器的工作原理 第二节??电容式传感器的类型及特性 第三节 电容式传感器的测量电路 第四节 电容式传感器的应用 ;电容式传感器：把被测量转换为电容量变化的一种传感器。 特点： 优点：具有结构简单、灵敏度高、动态响应特性好、适应 性强、抗过载能力大及价格便宜等特点。 缺点：泄漏电阻、非线性 应用：可用来测量差压、(角)位移、振动、加速度、物位、成分含 量、层析 ;;R;第二节??? 电容式传感器的类型及特性 一、变面积式电容传感器 图3-2是一直线位移型电容式传感器的示意图。 当动极板移动△x后，覆盖面积就发生变化，电容量也随之改变，其值为 C=?b（a-△x）/d=C0-?b·△x/d （3-2） 电容因位移而产生的变化量为 其灵敏度为 可见增加b或减小d均可提 高传感器的灵敏度?? ; 图3-3是此类传感器的几种派生形式。 ; 图3-3a是角位移型电容式传感器。当动片有一角位移时，两极板间覆盖面积就发生变化，从而导致电容量的变化，此时电容值为 (3-3) 图3-3b中极板采用了锯齿板，其目的是为了增加遮盖面积，提高灵敏度。当齿板极板的齿数为n，移动△x后，其电容量为 (3-4)； 其灵敏度为 由前面的分析可得出结论，变面积式电容传感器的灵敏度为常数，即输出与输入呈线形关系。 ; 二、变间隙式电容传感器 图3-4为变间隙式电容传感 器的原理图。图中1为固定极板， 2为与被测对象相连的活动极板。 当活动极板因被测参数的改变 而引起移动时，两极板间的距 离d发生变化，从而改变了两 极板之间的电容量C。 ;设极板面积为A，其静态电容量为 ，当活动极板移动x后，其电容量为 (3-5) 当x＜＜d时 则 (3-6) 由式（3-5）可以看出电容量C与x不是线关系，只有当 x〈〈d时，才可认为是最近似线形关系。同时还可以看出，要提高灵敏度，应减小起始间隙d过小时。但当d过小时，又容易引起击穿，同时加工精度要求也高了。为此,一般是在极板间放置云母、塑料膜等介电常数高的物质来改善这种情况。在实际应用中，为了提高灵敏度，减小非线性，可采用差动式结构。 ; 三、变介电常数式电容传感器 当电容式传感器中的电 介质改变时，其介电常数变 化，从而引起了电容量发生 变化。此类传感器的结构形 式有很多多种，图3-5为介 质面积变化的电容式传感 器。这种传感器可用来测 量物位或液位，也可测量 位移。 ;由图中可以看出，此时传感器的电容量为 ；其中： ?设极板间无ε2介质时的电容量为： ；当ε2介质 插入两极板间则有： ;第三节 电容式传感器的输出特性; 2.变极距型电容式传感器的输出特性; 对这两个输出特性作一简单的比较即可发现，差动电容传感器的非线性因子要比变极距型电容式传感器的非线性因子小得多，做近似性线性处理后，差动电容传感器的非线性误差自然也要小得多。;4、电容式传感器的输出灵敏度;5、 电容式传感器的等效电路及特性;二、电容式传感器的几个典型特点;第三节 电容式传感器的测量电路 用于电容式传感器的测量电路很多,常见的电路有:普通交流电桥、紧耦合电感臂电桥、变压器电桥、双T电桥电路、运算放大器测量电路、脉冲调制电路、调频电路。 一、普通交流电桥 图3-6所示为由电容C、C0和阻抗Z、Z’组成的交流电桥测量电路，其中C为电容传感器的电容，Z’为等效配接阻抗，C0和Z分别为固定电容和阻抗。 ; 电桥初始状态调至平衡，当传感器电容C变化时，电桥失去平衡而输出电压，此交流电压的幅值随C而变化。电桥的输出电压为