互换性与测量技术基础02第2章长度测量基础绪论.ppt

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2016-07-27 发布于湖北
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*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;;;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;2. 原子力显微镜（AFM）;原子力显微镜是将一个对微弱力敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与被测试件的表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与被测试件表面原子间存在极微弱的排斥力，通过扫描时控制这种力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与被测试件表面原子间作用力的等位面而在垂直于被测试件的表面方向起伏运动。利用光学检测法和隧道电流检测法，可以测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化，从而可以获得被测试件的表面形貌的信息。;*;*;*;*;*;*;表2-4;*;*;*;*;*;*;*;*;*;重复条件下测量结果处理（续）;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*