第1讲薄膜简介研究.pptVIP

薄膜物理与制备技术Thin Film Physics Preparations;参考书;;第一讲 薄膜材料简介;薄膜材料的历史;Worldwide market of raw materials for thin film technology;构成薄膜的材料;按薄膜的功能及其应用分为：;薄膜材料的定义;薄膜材料的特点;薄膜材料的特点;表面效应---表面散射;表面效应---电导率降低;表面效应---熔点降低; 将 代入式（1-3）得到： 可见， ，也就是说小球的熔点低于块材的熔点，并r越小，熔点降得越低。Pb在r=10-7cm时，Tm-Ts=150K。 实验表明，薄膜材料的熔点普遍低于它相应块材的熔点。;薄膜的结构和缺陷;薄膜的组织结构;外延（Epitaxy）;薄膜的表面结构;薄膜的缺陷;异常结构和非理想化学计量比特性;化合物的计量比，一般来说是完全确定的。但是多组元薄膜成分的计量比就未必如此了。 通常随着原子比不同，其物性差异很大，即成分偏析。;薄膜和基片（衬底）;为什么要发展薄膜材料;薄膜材料的应用;耐磨、防腐与装饰涂层;光学涂层材料;薄膜太阳电池;P-type Substrate;磁存储技术中的薄膜材料: 磁头与磁记录介质;微机电系统中的