电子显微镜b研究报告.ppt

10.1 Introduction TEM provides detailed structural information at levels down to atomic dimensions. It is possible to obtain information within the range 1-100 nm. advantage of TEM 1. Very high resolution 2. Can be rapidly adjusted to provide an electron diffraction pattern from a selected area disadvantage of TEM 1. Only for thin samples, less than 1 ?m thick, preferably less than 100 nm 2. Only directly detect the solid samples;透射电镜发展简史;透射电镜三要素：;;电磁透镜 ;电磁透镜的结构 ;（2）电磁透镜的光学性质 ;像的径向放大倍数M可以表达为：;成像电子在电磁透镜磁场中沿螺旋线轨迹运动，而可见光是以折线形式穿过玻璃透镜。因此，电磁透镜成像时有一附加的旋转角度，称为磁转角?。物与像的相对位向对实像为180???，对虚像为?。 ;（3）电磁透镜的分辨本领 ;球差;;畸变：;;像散;;色差;;2. 照明系统 ;热电子枪示意图 灯丝和阳极间加高压，栅极偏压起会聚电子??的作用， 使其形成直径为d0、会聚/发散角为?0的交叉 ;双聚光镜照明系统光路图 ;3. 成像系统 ;透射电镜成像系统的两种基本操作 (a)将衍射谱投影到荧光屏 (b)将显微像投影到荧光屏 ;试样台和试样架;;;3 Samples ;样品制备 ;通常透射电镜的样品可按照材料的形状分为以下四种： 1，粉末样品，主要用于粉末材料的形貌观察、颗粒度测定以及结构分析； 2，薄膜试样，把块状样品加工成对电子束透明的薄膜，可用作静态观察，如金相组织、析出相形态、分布、结构及与基体取向关系、位错类型、分布、密度等； 3，金属样品的表面复型，适用金相组织、断口形貌、形变条纹、磨损表面、结构分析； 4，界面样品，这种样品也是一种薄膜样品，但制备方法独特，主要用于对材料的表面和界面的观察;间接样品(复型)的制备 ;复型的种类;塑料-碳二级复型制备过程示意图 ;萃取复型;;直接样品的制备 ;;;;2. 晶体薄膜样品的制备;;;; ; ;