传感器检测技术05 第五章.ppt

1.掌握传感器工作原理及性能　　　 2.了解传感器结构、种类 3.掌握测量电路及其补偿方法 4.掌握应变片的布置及接桥方式 5.了解传感器的应用; 电阻式传感器的基本原理：将被测物理量的变化转换成电阻值的变化，再经相应的测量电路显示或记录被测量值的变化。其种类繁多，应用广泛。;应用范围：用于位移、加速度、力、压力、力矩等各种参数测量。;3.1 电阻应变片的工作原理及特性 ;电阻应变片的工作原理; 电阻丝的电阻R为;?x——电阻丝轴向相对变形，或称纵向应变。;对半导体材料，压阻效应为主：;2、电阻应变片的种类及材料 ;丝式应变片：金属电阻应变片的典型结构。将一根高电阻率金属丝（?0.025mm左右）绕成栅形，粘贴在绝缘的基片和覆盖层之间并引出导线构成。;丝式应变片制作简单、性能稳定、成本低、易粘贴。分为丝绕式和短接式两种。 ;箔式应变片：利用照相制版或光刻技术，将厚约为0.003～0.01mm的金属箔片制成敏感栅。 ;半导体应变片：分为体型和扩散型两种。 ;薄膜应变片：采用真空沉积或高频溅射等方法，在绝缘基片上形成厚度在0.1mm以下的金属电阻材料薄膜的敏感栅——厚度大约为箔式应变片的十分之一以下。;3、电阻应变片的性能参数 ;电阻应变片;3.2 测量电路及温度补偿 ;直流电桥的工作原理;直流电桥的联接方式: ;通常 ;电桥的工作特性: ;2）电桥的和差特性;电桥的和差特性的实际应用：;测量用应变片;2、温度误差及补偿;温度补偿方法： ; 2)桥路补偿法——电桥的和差特性 全桥自动补偿；半桥邻臂 3)热敏电阻补偿法——热敏电阻适当分压;3、应变片的布置和接桥方式;重点理解：在拉、压、弯、扭等各种载荷复合作用下如何布片和组桥，如何测量由其中单一载荷所产生的应变？;梁式元件——固定端根部;圆环——应变节点;扭矩测量;平面膜片——应变节点;3.3 电阻应变式传感器的应用 ;将应变片贴于弹性元件上，与弹性元件一起构成应变式传感器，常用来测量力、位移、压力、加速度等参数;应用实例;应用实例——电子称;应用实例——冲床监测与计数;应用实例：机器人握力测量; 如图所示，在一受拉弯综合作用的构件上贴有四个电阻应变片。试分析各应变片感受的应变，并分析如何组桥才能进行下述测试： (1) 只测弯矩，消除拉应力的影响； (2) 只测拉力，消除弯矩的影响。 电桥输出各为多少？;解：(1)只测弯矩，消除拉应力的影响组桥如图所示。;(2)只测拉力，消除弯矩的影响组桥如图所示。;3.4 压电效应及压电材料 ;与压电效应相反，如果将具有压电效应的物质置于电场中，其几何尺寸也发生变化，这种由于外电场作用导致物体机械变形现象称为逆压电效应。 ; 石英晶体的压电效应;;纵向压电效应：沿电轴(x轴)施加作用力，电荷出现在与x轴相垂直的表面上。产生的电荷量为： ;根据石英晶体轴对称的条件，d12=?d11，从而：;3.5 测量电路;; 假设一恒定力F作用于压电器件，产生电量q，则输出电压：;显然，电荷泄漏使得利用压电传感器测量静态或准静态量非常困难。通常压电传感器适宜作动态测量。;串联时，输出电压大、电容小、时间常数小。 适宜测量高频信号和以电压输出的场合。 ;测量电路 ;1)电压放大器;即：;，则：; 若压电器件上作用静态力（? = 0），Uom和Suo均等于0。即压电传感器不能测量静态力。 若被测量是准静态量，必须增大测量回路时间常数，以维持(?RC)2 1，减少?对Uom和Suoi 的影响。显然增加电容C会降低灵敏度，而一般Ra很大，故只有增加Ri。 Ri越大，低频响应越好。下限频率：;2)电荷放大器 ;电荷放大电路;从而：;在电荷放大器的实际电路中，考虑到被测量的大小，以及后续放大电路不致因输入信号太大而导致饱和，反馈电容Cf的容量做成可选择的，选择范围在100～10000pF之间。选择不同的反馈电容，可改变前置放大器的输出大小。 由于采用电容负反馈，电荷放大器对直流工作点相当于开环，因此零点漂移较大。为了减小零漂，使电荷放大器工作稳定，一般在反馈电容两端并联一个大的反馈电阻RF（约1010~1014 ?），作用是提供直流反馈。;电荷放大器的时间常数RfCf很大（ 105 s以上），因此其下限截止频率 低达3? 10－6Hz。;3.6 压电式传感器的应用;存在横向效应，影响测量结果 应用中要求采取严格的绝缘措施，并采用低 电容、低噪声电缆。 工作原理可逆 ;压电元件—质量块—弹簧系统装在圆形中心支柱上，支柱与基座连接，基座与测试对象连接。; 利用压电效应，在加速度计受振时，质量