真空系统的检测技术分析.ppt

真空系统 检测技术;1.1 真空测量仪表与规管的选用和安装1.1.1真空仪表的选用;;真空仪表的选用;同时要求测量粗真空到低真空范围时可用 1 振膜式真空计 2 电容式薄膜真空计 3 放射性电离真空计（需采取防护措施） ; 在要求同时测量低真空和高真空时可用 1???? 复合真空计 2?????高压力电离真空计;数字式电容薄膜真空计;;; 气体流阻的影响还与气体压力的高低（即气体分子运动状态）有关，在低压力（分子流）时气体流导与管道直径的三次方成正比；在高压力（粘滞流）时气体流导与管道直径的四次方成正比。同时气体流导与管道的长度成反比。 因此，尽量使规管的安装位置尽可能接近被测点位置。此外还应注意，在真空系统中存在气源的地方，一般不适宜安装规管。;;; (a) 低压力下的规管安装 （b）高压力下的规管安装 图3-3 不同工作压力下规管的安装;（5）规管的测量入口应该避开气源以及热辐射和粒子（电子、离子）的直接入射。 （6）普通热阴极电离计规管，应该垂直安装，否则，栅极和灯丝产生变形，影响测量精度及使用寿命。 （7）为避免测量接管流导影响，规管的接管管道要尽可能短而粗，接管内径不得小于规管尾部直径且长度不大于10cm。;;图4-4 常用的规管安装连接结构; ;超高真空测量裸规;;;;1.2 真空规管的使用1.2.1 温度差对规管测量影响;其测量结果将用下式修正 P2＝ ;图4-5 温度对测量影响的示意图 ;（2）低压力（λ＞＞d）情况下;由于处于平衡状态，N＝0，上式可简化为;对于根据气体分子密度测量的电离真空计按下式进行修正;;1．氧气的影响 氧气是理想气体，可以用麦氏真空计进行测量，当氧分压过高时，会使水银表面发生氧化，影响水银的表面张力，使水银在毛细管中移动时位置不准确，造成测量误差。 普通热传导（例电阻）真空计的灯丝在高温下会氧化，改变热丝的表面状态，引起规管零点漂移和灵敏度的改变，应采用抗氧化热丝的规管。热阴极电离规灯丝亦易氧化，使其寿命缩短。 对于氧分压较高的气体氛围，在粗低真空范围内可用薄膜真空计测量；高真空时使用辐射真空计和冷阴极规管;;3 油蒸气的影响。; 在油蒸汽分压高的系统中，低真空时用薄膜真空计测量；高真空时使用辐射真空计进行测量。; 1．电离规管的抽气作用 1）电清除抽气作用;2）化学清除抽气作用 化学清除抽气作用通常有以下几种：1）活性气体（H2、N2、CO2、CO等）在规管壁等表面上的化学吸附效应；2）氧与高温钨丝作用生成WO3，WO3蒸发沉积在规管壁上形成黑色膜层，此效应随着钨丝阴极温度的升高而增大；3）气体在高温钨丝表面的热分解作用：H2在高温钨丝表面上可分解为H，H很容易被吸附在规管及导管壁上。O2也能在热钨丝表面分解为O，并被吸附在规管壁上。 ;2．电离规管的放气作用;;一般规管的导管流导大约为2L／s，一般未经烘烤除气的规管管壁的放气量Q＝10－4～10－5Pa.L／s，因此，在高真空时这种影响十分显著。在经过充分的除气之后，其放气量就可降低至10－10～10－11PaL／s，这时这种影响就可大为减少。;1.2.4 其它因素对被测系统的影响 ;相对灵敏度γ修正系数 ;表4-3 电离规管对不同气体的相对灵敏度γ（以氮为测量基准定标） ;热偶规管的气体修正系数q ;表4-4 热偶计对不同气体的气体修正系数q;热偶计对不同气体的测量结果是不同的，这是由于不同气体分子的导热系数不同引起的。以干燥空气（或氮气）的相对灵敏度为1，在测量不同气体的压力时，可根据干燥空气（或氮气）刻度的压力读数，再乘以相应的被测气体的相对灵敏度，就可得到该气体的实际压力，即 Pe＝Sr.Pr 式中 Pr—以干燥空气（或氮气）为测量系统的真空计读数，Pa Pe—被测气体的实际压力，Pa Sr—被测气体对空气的相对灵敏度。; 相对灵敏度表明了气体热传导的性质，真空系统中常见的气体和蒸汽的相对灵敏度如表4-5所示。;3.3.2 热导式真空计对已知成分的混合气体系统测量;;1.3.3 真空放电指示管及高频真空火花计的应用;图3-7 真空放电指示管的辉光放电现象;表 4-6 某些气体和蒸汽在放电时的辉光颜色;高频火花检测计 ; 目前，在现有的各类极高真空仪表中较为可靠的最低测量压力达到约10－12Pa 水平。实际应用的极高真空测量仪器主要有以下几种