第三章应变传感器分析.ppt

3.1 电阻应变式传感器 3.2 薄膜应变电阻及传感器 3.3 电阻应变传感器使用中的注意问题 第三章 应变传感器 应变传感器 力学量分为： 几何学量：位移、形变、长度、厚度等； 运动学量：速度、加速度、角加速度等； 力学量：力、应力、压力等。 测量这些物理量的器件成为力学传感器或应变传感器。 3.1 电阻应变传感器 电阻应变片+弹性元件 用于测量位移、加速度、力、力矩、压力等 应用于航空、机械、电力、化工等领域 电阻应变效应：金属导体在外力作用下发生机械变形时，其电阻值随着所受机械变形(伸长或缩短)的变化而发生变化的现象。 应变片压阻效应：半导体材料在受到外力作用时，其电阻率ρ发生变化的现象 一、应变片的结构 应变片的结构 1、敏感栅： 转换元件； 2、基底和面胶(覆盖层) 基底，传递弹性体的应变； 面胶，保护电阻丝； 粘合剂： 粘合电阻丝和基底； 4、引出线： 连接测量导线 覆盖层 二、 电阻应变片的分类 （1）按应变片敏感栅的材料不同。 金属应变片和半导体应变片 （2）按应变片的工作温度不同： 常温应变片：-30～60℃ 中温应变片：60～300℃ 高温应变片：300℃以上 低温应变片：低于-30℃ （3）按应变片的用途不同， 一般用途应变片 特殊用途应变片：水下、疲劳寿命、 抗磁感应、裂缝扩展等 三、常用应变片 1）丝线应变片； 2）箔式应变片； 3）半导体应变片； 4）金属薄膜应变片； 5）高温及低温应变片； 1、丝式应变片 丝式应变片的敏感栅为：电阻丝 直径：0.02～0.05 mm, 常用：0.025 mm； 电流：10～12 mA和40～50 mA； 电阻值：50～1000 Ω,常用：120 Ω； 2、箔式应变片 敏感栅：由光刻、腐蚀等工艺制程 箔栅厚度：0.003～0.01 mm 箔金属材料：康铜或者合金（卡玛合金等） 优点： 敏感栅的形状可变； 表面积大,散热性能好, 允许通过电流大； 蠕变小,疲劳寿命高； 3、半导体应变片 优点：灵敏度系数高；机械滞后小、 体积小、耗电量小等 缺点：非线性大 敏感栅： 半导体圧阻效应 3.2 薄膜应变电阻及传感器 指用真空热蒸发、磁控溅射、化学气相沉积等方法制得的薄膜（非机械延展法制得） 一、 按薄膜厚度分类 （1） 非连续金属膜。厚度小于10-8m,薄膜不连续,孤岛分布，孤岛之间没有通道,其导电作用是由隧道效应所实现的。 特点：阻值很高,灵敏度高, 性能极不稳定。 （2） 半连续膜。这种膜的厚度在10-8～2×10-8m之间,膜面呈不连续的岛状,各岛之间有若干通道。  （3）连续膜。这种膜的厚度一般大于2×10-8m，膜面上基本看不到岛状结构。这种膜的稳定性远远高于前两种，力敏元件均采用这种膜。  二、薄膜的工作原理 　　对于长为L，横截面为S的均匀材料（金属或半导体），两端的电阻值为 式中，ρ—为材料的电阻率。 　　当受到一个沿着长度方向的纵向应力时，由于几何形状及内部结构发生变化，因此将引起电阻值的变化。 进行全微分可以求得电阻值的变化为 用相对变化量表示，则有 由上式可得 令k=1+2μ+πE，则 k称为材料的灵敏系数或应变因子： 材料发生单位应变时的电阻变化率 材料的灵敏系数由两个因素决定： 1+2μ，它由材料的几何尺寸的变化引起； πE，由材料受力后电阻率发生的变化引起。 金属薄膜， πE值很小，电阻率基本上与应力无关，可以忽略； 材料的灵敏系数主要取决于几何尺寸的变化； 在弹性形变范围内，k在1.5~2之间。 半导体材料 具有良好的弹性性能和压阻效应，它的压阻系数很大； k主要由πE决定，可高达100以上。 可以制作出灵敏度很高的应变片和压力传感器。 薄膜应变传感器的特点  优点： 工艺环节较少,工艺周期较短,成品率也就较高。  能反复加载106次以上, 耐疲劳性能良好。 量程很大,可用于大量程称重、加速度、压力传感器等。 这是它目前获得广泛使用的主要原因之一。 非粘贴式： 薄膜应变片与弹性体结合在一起； 粘贴式：制作单一薄膜应变片，再与弹性体粘合； 薄膜式：利用热蒸发、溅射、CVD等方法制成 合金型应变片和传感器, 稳定性很高, 电阻温度系数很小（一般为（10-