激光薄膜损伤阈值的检测.doc

几种光学薄膜激光损伤阈值测量方法的介绍与探讨 1.前言 光学薄膜现在已经成为各个光学元器件不可或缺的部分，随着高功率激光器件的发展，由于光学薄膜相对于其他光学元件一般具有比较低的激光损伤阈值，因而光学薄膜成为了高功率器件限制功率提高的瓶颈所在，因此提高薄膜的激光损伤阈值显得极为重要。然而要想提高薄膜的激光损伤阈值，准确的测量薄膜的激光损伤阈值成为了当前亟需解决的难题。本文系统的总结了1-on-1、S-on-1、R-on-1和光栅扫描四种测试方式，以及normaski相称显微镜观察、等离子体闪光判别等几种判断薄膜损伤方法的原理。可为薄膜激光损伤阈值的测试提供参考与借鉴。 几种损伤阈值测量方法的介绍 当前主流的测量方式有1-on-1、S-on-1、R-on-1和光栅扫描四种方式。其测试设备均如图一所示，只是在激光辐照到样品表面时而采取不同的方式。 图一 激光损伤阈值测量光路 激光器发出强激光用来作为损伤光，玻片与偏振片共同构成衰减器，He-Ne激光器所发出的光作为准直光使用，聚焦透镜使得光斑聚焦到合适的大小，分光镜将光分为三束，其中一束通向样品，一束通向能量计以时时监测能量值，另外一束通向CCD以确定光斑大小。 2.1 1-on-1测量方法 采用不同能量密度的激光依次对样品上一排点进行辐照，每个点辐照一次，为了保证各个点之间不相互影响，应使得两个点之间的距离为样品表面处理光斑直