4-3 扫描电镜(SEM).pptVIP

第三节 扫描电镜 (SEM) Scanning Electron Microscope ◆ SEM能弥补透射电镜样品制备要求很高的缺点; ◆ 景深大; ◆ 放大倍数连续调节范围大; ◆ 分辨本领比较高； ◆ 可直接观察大块试样◆ 固体材料样品表面和界面分析◆ 适合于观察比较粗糙的表面：材料断口和显微组织三维形态 4.3.1 SEM的特点和工作原理 扫描电镜的成像原理，和透射电镜大不相同，它不用什么透镜来进行放大成像，而是象闭路电视系统那样，逐点逐行扫描成像。 4.3.2 扫描电镜成像的物理信号  扫描电镜成像所用的物理信号是电子束轰击固体样品而激发产生的。具有一定能量的电子，当其入射固体样品时，将与样品内原子核和核外电子发生弹性和非弹性散射过程，激发固体样品产生多种物理信号。 特征X射线 背散射电子  它是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子。又分弹性背散射电子和非弹性背散射电子，前者是指只受到原子核单次或很少几次大角度弹性散射后即被反射回来的入射电子，能量没有发生变化；后者主要是指受样品原子核外电子多次非弹性散射而反射回来的电子。 背散射电子的产生范围在1000 ?到1 ?m深，由于背散射 电子的产额随原子序数的增加而增加，所以，利用背散 射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征，也可用来显 示原子序数衬度，定性地进行成分分析。 二次电子是被入射电子轰击出