第4章激光衍射测量导论.pptVIP

衍射 单缝测量原理 单缝衍射的特点： 1）中央明纹最亮、最宽，它的宽度为其他各级明纹宽度的两倍 2）次级明纹的光强随级次的增加而逐渐减小3）若光程差不等于 λ/2 ?的整数倍，亮度介于最明与最暗之间。 4）条纹的方向平行于缝的方向 5）暗条纹β=kπ 即 单缝测量的原理 当θ不大时则有: 单缝测量的原理 由此可以得出以下结论: 测定L 、Xk的大小,就能计算狭缝宽度 测定b 、Xk的大小, 就能计算L的大小 如果Xk变化, L已知, 反映了狭缝的变化,可实现在线测量 由公式可知,暗条纹间距为固定值 所以通过测量条纹间距,也可以测量以上各值 1、间隙测量法 间隙法主要运用单缝衍射原理，通过测量某一暗条纹的距离， 通过公式，计算出被测量的大小。 主要分： 尺寸比较 形貌测量 c. 传感器 可以测量应力/应变，温度，压力，加速度等 1、间隙测量法 测量出某一暗条纹的位置后,利用衍射公式,计算出变化量的多少. 也可以通过计数某一位置(衍射角度固定), 衍射条纹数的变化条数计算 第一种,为绝对测量法 第二种为增量测量法 1、间隙测量法 基本的间隙法测量装置: 2、分离间隙法 利用参考物和试件不在一个平面内所形成的衍射条纹进行精密测量的方法被称为分离间隙法 原理图: P1出现暗条纹的条件: 2、分离间隙法 P2出现暗条纹的条件: 2、分离间隙法 应用举例: 3、互补测屏法 4.巴俾涅互补测量法 3、互补测屏法 因此, 细丝,薄带进行衍射测量: 互补测量法测量细丝直径的范围一般是0.0l — 0.lmm ， 测量精度可达0.05um 单缝测量的能力 测量分辨力 反映了测量最小分辨能力, 级数越高 L越大, 波长越长, 分辨力越高 单缝测量的能力 测量精度 由于一般激光频率稳定度可达10-6,可以忽略波长的影响 考虑环境因素的影响,一般测量的精度可达±0.5um 测量量程 b越小,β越大,衍射明显 b越小, XK变大,光强分布减弱,高级次条纹不明显 b越大, XK变小,条纹变密, 传感器不易放置, 灵敏度下降 Lb2/λ, 仪器尺寸限制, b基本确定 测量量程 屏上接受光强： J1为一阶贝塞尔函数 X为： 由一阶Bessel函数知，其零点位置 分别为：3.83， 7.02，10.17… 则Airy斑的大小有： Airy集中了84%的能量以上 5、爱里斑测量法 爱里斑测量法是基于圆孔的夫琅和费衍射原理 可以直接测量第一个暗环的直径 也可用能量法间接测量 互补屏：两者重叠在一起时，相当于一张完全不透光的黑屏 互补屏的衍射图样完全一样，只不过相位上相差π，即明暗条纹的位置互换。这就是用狭缝衍射公式计算细丝直径的理论基础。 一般d的宽度取0.01mm-0.5mm 圆孔衍射 光学仪器的分辨本领 圆孔衍射 光通过圆孔产生的衍射现象称为圆孔衍射。 一、圆孔夫琅禾费衍射 1. 圆孔衍射装置 2.圆孔Fraunhofer衍射现象 ?中央有一特别明亮的圆斑，集中了全部衍射光强的84％。称为中央亮斑，即爱里斑。 ?两侧向外排列着一系列同心圆环；亮、暗环相间排列。亮圆环的强度迅速减小。 ?亮、暗纹宽度随半径向外并不均匀。这是由于圆孔上半波带子光源具有不同的面积，进而有不同的强度，并且对同一衍射角所对应的有效面积不相同。 ?实验证明：可见光在通过不同口径的透镜时也会产生与圆孔类似的衍射现象，其原理仍可用Huygens-Fresnel原理解释。 爱里斑：第一个暗环所包括的区域。 常用测试仪器的分辨率 第一级暗纹的衍射角： 3. 衍射分析 与单缝衍射的分析方法类似，圆孔衍射有如下特征： 其中D为圆孔的半径。角θ1即为爱里斑的角半径。 在透镜焦距很大时： 爱里斑的半径为： 由上可知： 增大圆孔直径，爱里斑减小； 减小光波波长，爱里斑减小； 二、光学仪器的分辨本领 光学仪器在观察细小物体时，不仅要有一定的放大能力，也要有足够的分辨本领，才能达到清晰观测的目的。但由于光的衍射效应，使得物体的像具有一定大小的爱里斑，周围还有模糊的斑纹，靠得太近的物体产生的像就会重叠在一起而无法分辨。 瑞利判据 两个光点能够区分的标准是：一个爱里斑的中心正好是另一个爱里斑的边缘。 不可分辨 可分辨 最小分辨角 两个物点能分辨的对透镜光心的最小张角称为最小分辨角。 显然，最小分辨角就是爱里斑角半径： 分辨率 最小分辨角的倒数称为光学仪器的分辨率。 * * [例1]在通常照明条件下，人眼瞳孔直径约为3mm，求人眼的最小分辨角为多大？如果纱窗上两根细丝之间的距离为2.0mm，问人离开纱窗多远恰能分辨清楚？ [解]： 人眼对黄绿光最敏感，取λ=550nm 设人离开纱窗的