第5章微传感器和微执行器(第2部分)导论.ppt

大位移梳状驱动执行器 右图是Sandia国家实验室研制的一种齿轮传动的机械装置。 静电悬臂驱动 利用了驱动电压与梁末端偏移量之间的关系。 从工程力学理论可以知道，宽度为w的悬臂梁，在距固定端X处施加集中载荷时，梁末端的偏移量δT可由下式给出： 其中，距离梁固定端x处的静电力q(x)为 ： 静电旋转微型马达 静电式微执行器实例(1) 静电激励已经被用于实现旋转马达结构。基本思路是制做一个能自由转动的中间转子，四周布以电容极板，以合适的相位驱动，就可使转子转动。 “尺蠖” 执行器 静电式微执行器实例(2) 使用一个能弯曲的末端带有微小垂直挡板的金属板，当在金属板和衬底中掩埋的导体两端加电压时，金属板就向下弯曲，并将挡板向前推进一小段距离。电压消失时，由于挡板和绝缘层表面摩擦力的不对称，导致一定程度的运动“调整”，因而产生了金属板净位移。 静电光开关 静电式微执行器实例(3) 凹槽绝缘 硅 静电梳齿驱动器 光纤 氧化硅 输入1 输入2 输出2 输出1 驱动器作用时 的直通状态 输入1 输入2 输出1 输出2 驱动器不作用 时的反射状态 光纤槽 光纤槽 采用了一双面反射的垂直微镜来实现开关。将微镜与一根长梁相连，长梁由梳状电极静电驱动。只要施加一个电压短脉冲，微镜在长梁的带动下就会作进入或弹出光路的水平运动，实现光路切换。 静电致动微泵 静电式微执行器实例(3) 入口 出口 驱动腔 泵薄膜 检测电极 泵腔 绝缘层 驱动单元 阀体单元 Zengerle R的静电致动微泵 微泵的尺寸为，由静电驱动膜片、被动阀、进口和出口组成。泵用峰值为150~200V、频率从0.1Hz到10kHz的电压脉冲驱动。该泵的最大流速可达到250-850?L/min（正向）和 200-350 ?L/min（反向）。在供电电压为200V时，可达到最大背压为310cm H2O，最大流速为850?L/min。 微执行器的致动方式 (2)热执行器 利用热来驱动的热致动器或简单的加热器（一个电阻器）广泛应用于微机械器件中，是一种十分常见的驱动方式。从原理上分，热致动器可以分为热气动式和热膨胀式两种。 热膨胀式：利用执行器加热时本身材料的体积膨胀驱动。 热气动式：一种典型的方法是形成带有密封流体（如空气、水蒸汽和液态水等）的空腔，气腔中的流体被加热后就会膨胀，压力增大，从而推动薄膜运动。 现在很多喷墨打印机都是利用墨水的热膨胀来喷出墨滴。热喷墨打印机墨嘴的示意图如下图所示。 固体热膨胀：双晶片热执行器 热执行器的一个基本方案是利用两种键合材料的不同热膨胀系数，被称为双晶片热激励。 一个加热器常被夹在两层“活动”的材料中间，加电后，就会使它们产生不同的膨胀。该方案的优点包括线性的偏移量-能量关系以及环境稳定性，如这些执行器能运行于热传导相当低的液体中。 缺点包括高功耗、低带宽（由热时间常数决定）以及比静电执行器更复杂的结构。 双晶片热执行器 双金属致动器 双金属致动器也是一种热致动器，但它不利用固体的体积膨胀，而是利用固体的线性膨胀来制造微致动器。双金属热致动是通过加热，使得驱动元件本身的温度升高，结构内部产生热应力，导致薄膜产生线性应变，从而达到驱动目的。 双金属热致动方式具有驱动电压低、驱动力大、行程大、线性的位移—能量关系、结构及制造工艺简单（相对热气动等方式而言）、驱动能源易于实现、易于集成等特点，因而应用前景广泛。 a热膨胀系数，t厚度，b宽度 美国IC Sensors利用这种双金属片致动原理研制的阀。其中，硅膜厚、直径为，铝层厚，常开间隙为的阀可控0.2MPa的气流，泄漏仅为45μL/min 金属层 加热膜 硅 进口 出口 双金属片致动阀 热气动式：体积膨胀和相变执行器 不利用固体的线性膨胀，而是利用体积膨胀也可以制造出微机械执行器。一种典型的方法是形成带有密封流体的空腔（如：空气、水蒸汽和液态水等），这些物质可以被加热，然后就会膨胀。但是，就象别的许多热驱动方法一样，这种方法功耗较大，带宽较低，这是由于热时间常数所致。 变相的热执行器包括加热时相态可变的材料，这样体积发生膨胀从而产生压力以及机械载荷。例如，可以通过加热将水从液态转变为气态，产生的气泡可以用作驱动力。 微执行器的致动方式 (3)压电执行器 逆压电效应：在压电材料两端施加一定的电压，材料会表现出一定的形变（伸长或缩短）。 ?V的典型值在10-10~10-7cm/N之间变化。因此，要获得微米量级的位移，常常需要超过1000V的电压，除非使用叠加的执行器或放大机械运动的器件。 压电致动微型泵 日本东北大学研制的压电堆致动微泵如图所示。该微泵依靠致动器推动薄膜变形，引起腔体内压强的变化，驱动单向阀工