半導體製造業廢棄物樣品分析評析.pptVIP

廢棄物鑑識樣品分析流程及行業採樣鑑定程序 環檢所第四組 郭雅惠 廢棄物樣品分析流程 不明廢棄物 定性分析 定量分析 行業別篩選 已知行業別之廢棄物 —行業採樣鑑定程序 -定性/定量分析 定性分析之檢測報告範例 有機檢測項目 VOC 59 compouunds SVOC 74 compounds 有機定性檢出疑似有機化合物 GC/MS檢測結果只列出與NIST資料庫質譜比對Q值大於80之層析峰 半定量結果是以濃度50μg/mL之BFB(4-Bromofluorobenzene)及DFTPP(decafluorotriphenyl-phosphine )之積分面積作為計算基準 無機檢測項目 37compounds 已建立鑑定程序之行業別 2811發電輸電配電機械製造修配業 2812電線電纜製造業 2840電池製造業 1790其他化學材料業 1712石油化工原料業 1050印染整理業 1720人造纖維製造業 2451金屬表面處理業 2710半導體製造業 2792光電材料及元件製造業 鑑定程序之內容 產業特性評估 產製程類別 行業特性(歷史、關聯性、製造流程) 廠家統計 各製程之原料產品及廢棄物 廢棄物採樣程序 產業背景資料調查 廠家訪查及取樣 分析方法與流程 結果評析/差異分析 石油化工原料製造業(1712) 採樣鑑定程序 產業特性評估 發展特性: 以逆向整合方式發展，先建立下游加工業，再由國外進口石化加工原料形成中游體系，最後興建輕油裂解廠供應石化基本原料，串成上、中、下游完整的石化體系。 石油化工原料之來源為輕油裂解廠之石油腦，經過觸媒裂解，轉化後所產生，一般可區分為烷烴類、烯烴類、芳香烴類、醇化合物、單體類及其他石油化工原料。 我國石油化工原料製造業各分類之銷售值比重 單位：% 我國石油化工原料業主要產品之銷售值比重單位：% 石化業事業廢棄物之特性 石化業產出之有害事業廢**棄物 石化業產出之非有害事業廢棄物 石化業代表性製程-23種 製程原物料產品及廢棄物關聯性 單一製程廢棄物種類少 共用製程廢棄物多且無特徵 觸媒為特徵廢棄物 獨特專利性配方 3-5年產出 採樣不易 石化業廢棄物樣品評析 行業特性分析—污泥、廢液、觸媒(指標廢棄物) 分析結果 污泥 有機分析：各廠家皆不同，無法作為行業指紋特性 無機分析：分析出 Fe 等 8 種元素，可作為行業指紋特性 廢液 非主要產出廢棄物，無法反映行業指紋特性 觸媒 有機分析：各廠家皆具不同，無法作為行業指紋特性 無機分析：分析出Al、S、Si種元素，可作為行業指紋特性 石化業廢棄物樣品評析 廠家特性分析—各廠家原料、取得不同而有不同之指紋特性 分析結果 有機分析：各廠家(GC/MS、FTIR)皆不同，可作為廠家指紋特性 無機分析：各廠家檢出之元素及比例不盡相同，可作為廠家指紋特性 觸媒 無機分析：各廠家檢出之元素及比例不盡相同，可作為廠家指紋特性 電池製造業(2840)採樣鑑定程序 產業特性評估 電池種類 我國二次電池產業結構 電池製造業事業廢棄物之特性 電池製造業有害事業廢棄物之特性分析 電池製造業非有害事業廢棄物之特性分析 電池製造業之代表性製程 製程原物料產品及廢棄物關聯性 鉛蓄電池為主製程無涉及化學反應 廢棄物差異性小 產出之特徵廢棄物 無機性污泥 污泥之酸滲出液 灰渣 電池製造業廢棄物樣品評析 行業特性分析—污泥、廢液分析結果 污泥 有機分析：各廠家重複性低，無法作為行業指紋特性 無機分析： S 為主，可作為行業指紋特性 S、Pb—化學電池業 Ba –鉛蓄電池業 S 、 Al 、 Sr 、Si 、Ca 、Na 、Mg 、K、—太陽能電池業 廢液 有機分析：各廠家皆具不同，無法作為行業指紋特性 無機分析：分析出S元素，可作為行業指紋特性 電池製造業廢棄物樣品評析 廠家特性分析—污泥、廢液分析結果 有機分析：各廠家重複性低，可作為廠家指紋特性 無機分析：各廠家有特定之元素檢出，可作為廠家指紋特性 半導體製造業(2710)採樣鑑定程序 產業特性評估—行業分類及定義 我國半導體廠商依分工型態 第一類為IC設計(100餘家公司)—無污染 第二類晶圓製造(20餘家公司) 第三類封裝(40餘家公司) 第四類測試(30餘家公司) 半導體業產業關聯性 矽晶圓製造流程 積體電路(IC)製造流程 晶圓製造與廢棄物來源 積體電路製造(IC)流程與廢棄物來源 積體電路(IC)封裝測試製程與廢棄物來源 半導體製造業(2710)前15大廢棄物種類及申報量 半導體製造業代表性製程代碼 半導體製造業廢棄物樣品分析評析 半導體製造業廢棄物樣品分析評析 半導體製造業廢棄物樣品分析評析-二極體製造