掺氟金属锡靶材的制备与综述.docVIP

河北联合大学轻工学院 QINGGONG COLLEGE， HEBEI UNITED UNIVERSITY 毕业论文 设计（论文）题目：掺氟金属锡靶材的制备与研究 学生姓名： 学 号： 专业班级： 学 部：材料化工部 指导教师： 2012年05月20日 摘 要 掺氟二氧化锡导电玻璃（简称FTO玻璃）可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大。目前生产这种薄膜的主要方法是磁控溅射法。靶材的质量对生产出透光率高、导电率好的FTO薄膜至关重要。 本论文采用粉末冶金法制备FTO靶材，将配制的高纯度的混合粉末（氟和二氧化锡比例分别为5:95、10:90和20:80）研磨十分钟，装入冷压模（Φ30mm）中单向压结，于一定压力下（2~55Mpa）、保压2~10min压制成形，脱模后将压坯至于真空炉中（极限相对真空度?-0.095MPa），在低于基本材料熔点的温度下进行烧结（加热）。主要研究了掺氟量、烧结温度、烧结时间对试样微观形貌、组织结构和致密度的影响。通过对致密度的测定和金相显微组织的观察分析，确定出最佳的掺氟量、烧结温度和烧结时间。 实验结果表明掺氟量5%，烧结温度150℃、烧结时间60min这组参数制备的靶材致密度最高。随掺氟量、烧结温度、烧结时间的增