微波等离子体学习小结研讨.pptxVIP

微波等离子体技术 --学习汇报 背景介绍 01 02 03 Contents 理论基础 应用现状 微波等离子体技术 01 02 03 背景介绍 1 背景介绍 微波等离子体特点： 电子温度　　　　　高　 5eV~15eV 产生气体范围　　　宽　大气压强～ 10-6Torr 1 背景介绍 方案 特点 直流放电 有极放电，密度低，电离度低， 运行气压高 射频放电 无极放电，密度与电离度有所提高，但应用范围受限 微波放电 等离子体为介电媒质，电磁辐射与等离子体为集体相互作用 现有放电技术 微波等离子体技术 01 02 03 理论基础 2 理论基础 气体的微波击穿 1 2 3 4 微波传输系统中传输功率与模式场的关系 微波激励气体放电的电子速度分布函数 微波电子回旋激励系统中气体放电的击穿条件 微波电子回旋激励系统中的放电击穿功率 5 微波放电的击穿电场 6 微波放电能量馈入结构的要求 2 理论基础 微波等离子体的反应器结构 波导耦合型 圆柱谐振腔型 ECR(电子回旋谐振)型 2 理论基础 微波等离子体的反应器结构 波导耦合型 微波等离子体技术 01 02 03 应用现状 微