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真空技术在真空泵中的应用 院系名称 ： 理学院 专业班级 ： 应物1102班 学生姓名 ： 闫新政 学 号 ： 201121020216 真空技术在真空泵中的应用 闫新政 （河南工业大学理学院， 郑州， 450001） 摘要 本文主要介绍了真空技术在真空泵中的一些应用。以机械泵、扩散泵、分子泵、离子泵、低温泵为例，分别介绍了它们的结构、原理和一些具体的应用等。文章最后对真空泵的应用前景进行了简单的展望。 关键词：真空技术；机械泵；扩散泵；分子泵；离子泵；低温泵 Abstract 本文主要介绍了真空技术在真空泵中的一些应用。以机械泵、扩散泵、分子泵、离子泵、低温泵为例，分别介绍了它们的结构、原理和一些具体的应用等。文章最后对真空泵的应用前景进行了简单的展望。 This paper mainly introduces some applications of vacuum technology in the vacuum pump. The mechanical pump, diffusion pumps, molecular pump, ion pump, cryogenic pump as an example, introduces their str