碟片激光器系统的膜层研讨.docVIP

碟片激光器系统的膜层 St. Günster*a, D. Ristaua, B. Weicheltb, A. Vossb aLaser Zentrum Hannover e.V. (LZH) , Hollerithallee 8, 30419 Hannover, Germany bInstitut für Strahlwerkzeuge (IFSW), Pfaffenwaldring 43, 70569 Stuttgart, Germany 摘要：与激光密不可分，这主要取决于次数决定着）同时尤其是满足 Hannover激光中心已经研发出一种簇沉积工具用于TDL系统的膜层沉积。这种簇沉积工具包括三个部分，第1个腔是ugate滤光器膜层沉积。整个过程由一个光学宽带监控器（BBM）基于 关键词：膜层沉积，碟片激光器，Rugate滤光器，膜层应力，金属 1.引言 的1-5]。这种系统所采用的泵浦源是泵浦光波长TDL）的理念中采用的是的激光激活碟片，这个理念不仅可以延用到更高的激光器输出还可以）b:YAG，它光泵浦下的基本波长是。TDL的关键组成部分是碟片模块元件，它包含镀在激光激活）和），泵浦光）碟片，它R系统本身就必须要和散热器接触，因此，不管是通过焊接还是胶粘，都 图1：包含激光激活材料，膜层DUL元件的示意图 DISKMODUL元件的生产是相当困难的。首先要选择无缺陷和高效率的激