《传感器与检测技术》胡向东ch03-3.ppt

* * 同学们好！ §3-3 电容式传感器的应用 一、等效电路 C —— 传感器电容 L —— 电感 RP —— 并联损耗电阻 RS —— 串联损耗电阻 CP —— 寄生电容 高温、高湿、高激励 二、应用中存在问题 保护环 减小极板厚度d 极板 间隙 保护环 1、边缘效应 灵敏度降低、非线性增加 2、寄生电容 消灭寄生电容的影响，是传感器实用化的关键。 消灭寄生电容的方法： ① 驱动电缆法 等电位屏蔽法 ② 整体屏蔽法 ③ 采用组合式与集成技术 参考文献： “双面接触式电容压力传感器的设计及制造工艺”， 《仪表技术与传感器》，2001年9期 2、“基于参考电容的低成本智能电容传感器系统”，《仪表技术与传感器》，2001年8期 三、应用举例 例3-3 电容测厚传感器在板材轧制装置中的应用 “电容式板材在线测厚仪”，《仪表技术与传感器》，2001年4期 参考文献： 例3-4 电容式称重传感器 误差平均效应 参考文献： “电容式称重传感器”，《传感器技术》，2001年6期 例3-5 电容式压力传感器 单只变间隙型 差动式 例3-6 电容式加速度传感器 惯性原理 灵敏度：0.35mV/g/V * * *