学位论文-相位制型激光自混合干涉测量微纳米技术的研究.doc

学 士 学 位 论 文 相位调制型激光自混合干涉测量 微纳米技术的研究 本科生 : 郭冬梅 指导教师 : 王鸣 教授 培养单位 : 物理科学与技术学院 专业学科 : 电子科学与技术 相位调制型激光自混合干涉测量 微纳米技术的研究 摘 要 激光自混合干涉是指激光器输出的光被外部物体反射或散射后，其中一部分光又反馈回激光器的谐振腔。反馈光携带了外部物体的信息，与腔内光相混合后，调制激光器的输出，形成自混合干涉。激光的自混合干涉来源于激光器的外部光反馈效应，以前人们总是设法消除光反馈的影响，后来逐渐的由消除光反馈的不利影响到主动利用光反馈效应检测物理量，从而形成了一门新的技术。 为了提高自混合干涉的微位移测量精度，高精度的相位测量法被引入自混合干涉技术中，已见报道主要有两种方法：注入电流调制和外腔长度调制方法。光纤的引入使自混合型LDV的信噪比大大提高[28]。自93年以来开始明确采用：“自混合”术语[15]。很快被国际同行接受并使用。其小组注重观察各种自混合干涉现象并加以利用，许多新的实验现象有该小组首先报道，如多模激光的自混合干涉效应、倾斜外腔的倍构款软件的决心。该项目计中的具体应用。第3章和第4章则是从系统的可行性和安全性上分析了该项目的优势和不足。第5章具体举了几个功能模块，列举其中的关键代码进行分析该功能的实现过程最后则是对整个项目进行了最后的测试，以一个成功和一个失败的例子来让读者明白该项目的各种功能以及其中的缺陷。 ………………………………………………………………关键词：The self-mixing interference comes from the optical feedback effect Abstract When a portion of light emitted from a laser source is reflected or scattered back into the laser cavity by an external target, the reflected light will mix with the light inside the cavity, causing a modulation of the laser output power. This phenomenon is called as self-mixing interference (SMI) , in which the reflected light carries some information of the external target. The self-mixing interference comes from the optical feedback effect. People always tried to eliminate the optical feedback effect previously. Gradually people began to make use of it actively to measure some physical quantities, thus self-mixing interference technology was brought forth. In order to improve the displacement measurement accuracy of the self-mixing interference, high accuracy phase measurement method is introduced into the SMI system. Key words: Self-mixing interference, Phase modulation, Electro-optic modulator目录 摘 要 I Abstract II 第1章 绪论 1 1.1 激光自混合干涉技术的兴起及发展 1 1.2 激光自混合干涉技术各国研究现状 1 1.2.1 以S.Donati为代表的意大利研究小组 1 1.2.2 以Gratten为代表的英国研究小组 2 第2章 激光自混合干涉效应基本理论及实验研究 3 2.1 激光自混合干涉系统理论模型 3 2.2 激光自混合干涉现象定量观察 4 2.2.1 实验装置 4 2.2.2 实验结果 4 第3章 系统分析合干涉效应基本理论及实验研究 3 3.1 功能构架合干涉系统理论模型 3 3.2 功能模块合干涉现象定量观察 4 3.2.1 实验装置 4 3.2.2 实验结果 4 第6章