微谐振器的动态性分析毕业论文.docVIP

本科毕业设计 （20 届） 题 目 微谐振器的动态特性分析 学 院 专 业 姓 名 班 级 学 号 指导教师 完成日期 20 年 月  诚 信 承 诺 我谨在此承诺：本人所写的毕业论文《微谐振器的动态特性分析》 均系本人独立完成，没有抄袭行为，凡涉及其他作者的观点和材料，均作了注释，若有不实，后果由本人承担。 承诺人（签名）： 年 月 日 摘 要 微电子机械系统（MEMS)是一个发展十分迅速、应用日渐广泛的领域，而MEMS传感器是应用最为广泛的MEMS器件，其中的MEMS谐振式传感器具有高灵敏度、高Q值、高稳定性、低噪声性能、低功耗等优良特性，在汽车电子、消费电子、生物医学和定位导航等领域中发挥十分重要的作用。 本文主要是对动态下MEMS谐振器的性能进行研究，而品质因数是MEMS谐振器性能指标中最重要的参数，因此首先介绍了品质因数的物理意义，讨论了影响品质因数的四个因素，并在此基础上分析了对MEMS谐振器品质因数影响最显著的空气阻尼损耗。接着讨论了空气阻尼的形成原因，说明了压膜阻尼是影响MEMS谐振器性能的主要因素之一。 根据上述的分析，重点研究动态下MEMS谐振器的性能情况。首先建立MEMS谐振器电极模型，推导出MEMS谐振器Q值的具体计算公式，并利用该公式研究动态下谐振器性能影响情况。最后分析得到分析得到MEMS谐振器在脉冲和阶跃惯性信号下的位移响应特性。 关键词：ABSTRACT MEMS are a rapidly-developed field with increasing wide range of applications. MEMS sensor is the most widely used part of the apparatus. Of which , the MEMS resonant sensor has played an important role in the areas of automatic electronics ,consumer electronics, biomedicine and navigation because of its excellent characteristics of high sensitivity, high-value of Q, low noise and low power consumption. This paper majorly researches on the characteristics of the MEMS Wine-Glass resonator under dynamic state. The quality factor is the most parameter of the resonators performance index. First, it introduced the physical significance of the QF and the four factors influence it, analyzed the most significant impact of the QF一the air damping loss .Then we discussed the reasons of the formation of air damping, showed squeeze-film damping is one of the major factors that influence the characteristics of the MEMS resonator. Based on the above analysis, the focus on the dynamic performance of MEMS resonators. First, the MEMS resonators electrode model, derived MEMS resonator Q value is calculated, and take advantage of the the resonator performance of the formula dynamic case. Final analysis to be analyzed to obtain the response characteristics of the MEMS resonator in the