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一、电子束与样品的作用 1为什么电子显微分析方法在材料研究中非常有用。 答：电子显微镜用于电子作光源，波长很短，且用电磁透镜聚焦，显著提高了分辨率，比光学显微镜提高了1000倍，可以对很小范围内的区域进行电子像、晶体结构、化学成分分析研究；样品不必复制，直接进行观察，可以观察试样表面形貌，试样内部的组织与成分。 2电子与样品作用产生的信号是如何被利用的？扫描电镜利用哪几个信号？ 答：（1）高能电子束与试样物质相互作用，产生各种信号，这些信号被相应的接收器接收，经过放大器放大后送到显像管的栅极上，调制显像管的亮度，可以获得样品成分的内部结构的丰富信息。（2）二次电子，背散射电子，吸收电子，特征X射线，俄歇电子，阴极荧光谱。 3、属于弹性散射的信号有哪几个？ 答：背散射电子，大部分透射电子。 4、荧光X射线、二次电子和背散射电子哪一个在样品上扩展的体积最大？ 答：荧光X射线，深度0.5~5um，作用体积大约0.1~1um 5在铝合金中距离样品表面0.5um的亚表层有一块富铜相。是否可以用二次电子或者背散射电子看到它？请详细解释原因 答：可以用背散射电子看到，二次电子不行 二次电子从表面5~10nm层发射出来，逃逸深度浅，二次电子的产额随原子序数的变化不如背散射电子那么明显，对原子序数的变化不敏感；背散射电子一般从试样0.1~1um深处发射出来，能反映试样离表面较深处的情况；对试样的原子序数变化敏感，产额随原子序数的增加而增加，始于观察成分的空间分布。 二、扫描电镜及应用 1.高分辨扫描电镜要采用场发射电子枪作为电子源的原因是什么？ 答：扫描电镜的分辨率与电子的波长关系不大，与电子在试样上的最小扫描范围有关，电子束斑越小，分辨率越高，但还必须越高。但还必须保证电子束斑小时，电子束具有足够的强度。 2.解释扫描电镜放大倍率的控制方法 答：M=l/L显像管中电子束在荧光屏上最大扫描距离和电子束在试样上最大扫描距离的比，l不变，改变L，通过调节扫描线圈上的电流进行，减少扫描线圈的电流，电子束偏转角度小，在试样上移动距离变小，放大倍数增加。 3采集二次电子信号的探头在样品的什么位置，何能有效收集二次电子？ 答：正对着样品表面法线方向，要倾动试样改变入射电子束的角度，使之有更大的二次电子激发，一般入射电子束与探测器夹角微90或稍大，还要考虑全聚焦和表面阴影，电子束相对于试样表面入射角45度左右。 4.背散电子的探头为什么总是位于样品的正上方？ 答：由公式，为空间强度分布，为背散电子数目，可见当电子束沿法线入射时，作用深度大，能观测到的信息更丰富。另外在样品正上方的背散射电子分辨率大，所以探头位于样品的正上方。 5.要用扫描电镜观察不导电样品，可以采取哪些措施避免放电对图像清晰的影响？ 答:在试样上喷涂一层导电物质金或碳；采用较低的加速电压；背散电子成像；改善样品和样品台的导电连接；用可变电压扫描电镜、环境扫描电镜直接观察。 6.EBSD是背散电子衍射花样分析，它可以用来研究样品的晶体结构和晶体取向分布。EBSD分析的信号采集与一般扫描电镜中的背散电子成像有何不同？ 答：EBSD跟晶体的结构和取向有关。而一般扫描电镜中的背散电子成像与产额和样品原子序数有关。 7、一副好的图像应该具备哪些基本特征？当你感觉一副电镜照片不清楚时，除了聚焦不好还可能有哪些原因？ 答：好的衬度、高的分辨率、大的景深、放大倍数适当、相差小 图像衬度不好、分辨率低、景深太小、放大倍数不适当、相差大 8、扫描电镜是进行断口分析的有效手段，可以做哪些分析？ 答：解理断裂、准解理断裂、韧窝断裂、沿晶断裂、疲劳断裂 三、电子光学与投射电镜结构 1、电磁透镜的结构对电子束聚焦能力的影响，短磁透镜的作用？ 答：线圈装在具有环形狭缝的铁壳中，甚至在铁壳上再加一个顶端成维状的圆柱形极靴，使有效磁场尽可能的加强和集中到投射轴一个很短的距离内，增加聚焦能力。 作用：改变线圈中的电流强度，就能很方便的控制透镜焦距和放大倍数，用来供给线圈电流的电源电压通常为60-100v，不必担心击穿，像差较小。 2、电磁透镜的像差有哪些？通过什么技术手段来控制像差？哪个像差最难控制？ 答：两大类：几何像差（球差、像散和畸变）：透镜磁场几何形状上的缺陷造成 色差：入射波长的非单一性造成 球差：不能消除，降低孔径角可以减小球差，但孔径角过小成像信号弱。 像散：用消像散器添加修正磁场消除 畸变：使用两个投影镜，使畸变相反互相抵消 色差：稳定加速电压 3、电子源波长是影响透射电镜分辨率的主要因素吗？为什么？ 答：不是;在磁透镜里对电镜分辨率影响最大的是衍射效应和球差，这两者与孔径角关系较紧。当电子波长是光波的1/105 左右，磁透镜的孔径角只是光学透镜的几百分之一。分辨率只比光学透镜提高1000倍左右。 4、