第11章半导体传感器学案.ppt

第九章　半导体传感器 半导体传感器 气敏传感器 湿敏传感器 色敏传感器 气敏传感器 用途：主要用于工业上天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气体的监测、预报和自动控制, 气敏元件是以化学物质的成分为检测参数的化学敏感元件。 材料：气敏电阻的材料是金属氧化物半导体（分P型如氧化锡和N型如氧化钴），合成材料有时还渗入了催化剂, 如钯（Pd）、铂（Pt）、银（Ag）等。 气敏传感器工作原理 敏感材料的功函数吸附分子的电子亲和力--?吸附分子从材料中夺取电子（负离子吸附、氧化型气体），敏感材料的载流子减少-? 　　，如　、 敏感材料的功函数吸附分子的离解能--?吸附分子向材料释放电子（正离子吸附、还原型气体），敏感材料的载流子增加-? 　　，如　、 为提高气体灵敏度，一般需加热以加快氧化还原反应（到200～450℃）,同时加热还能使附着在测控部分上的油雾、尘埃烧掉。 气敏传感器类型及结构 电阻型半导体气敏传感器 由三部分组成：敏感元件、加热器和外壳 烧结型、薄膜型、厚膜型 非电阻型半导体传感器 MOS二极管气敏器件 MOS场效应晶体管气敏器件 湿敏传感器 绝对湿度和相对湿度 绝对湿度：一定温度和压力条件下，每单位体积的混合气体中所含水蒸气的质量，单位g/m3，一般用符号AH表示。 相对湿度：气体的绝对湿度与同一温度下达到饱和状态的绝对湿度之比，一般用符号%RH表示。