第三章传感器之三.pptVIP

第三章 传感器 能动学院 满长忠 dlman41@163.com 3.4 电容式压力传感器 3.4.1 电容式传感器的工作原理 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为: 当被测参数变化使得S、d或ε发生变化时，电容量C也随之变化。电容式传感器可分为: 变极距型、变面积型和变介电常数型三种。 3.4电容式压力传感器 1、变极距型电容传感器 C 与Δd 近似呈线性关系，所以变极距型电容式传感器只有在Δd/d0 很小时，才有近似的线性关系。 在d0 较小时，对于同样的Δd 变化所引起的ΔC可以大些，从而使传感器灵敏度提高。但d0过小，容易引起电容器击穿或短路。 一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在20～30pF之间，极板间距离在25～200μm的范围内。最大位移应小于间距的1/10，一般为0.1μm级，故在微位移测量中应用最广。 ⑴变极距型平板电容传感器的灵敏度及非线性 电容式传感器的灵敏度： 输出电容的变化量ΔC与输入位移Δd之间成非线性关系. 当|Δd/d0|1时，可略去高次项，得到近似的线性关系： → 3.4电容式压力传感器 相对非线性误差: 如果考虑线性项与二次项， 则: → 可以看出：若要提高灵敏度，应减小起始间隙d0，但非线性误差却随着d0的减小而增大。 3.4电容式压力传感器 ⑵差动平板式电容传感器 在实际应用中，为了提高灵敏度， 减小非线性误差，大都采用差动 式结构。 差动平板式电容式传感器的灵敏度: 在|Δd/d0|1时，略去高次项，则ΔC/C0与Δd/d0近似成为 如下的线性关系： → 非线性误差 如果只考虑线性项和二次项，则电容式传感器的相对非线性误差近似为： 3.4电容式压力传感器 差动电容式传感器的优点: 灵敏度得到一倍的改善 线性度得到改善 3.4电容式压力传感器 2、变面积型电容传感器 分: 线位移型、角位移型 ⑴线位移型： 被测量通过动极板移动，引起两极板有效覆盖面积S改变，从而得到电容量的变化。初始电容为C0： 3.4电容式压力传感器 可见，传感器的电容相对变化量与角位移θ呈线性关系。 3、变介质型电容式传感器 3.4电容式压力传感器 可见，此变换器的电容相对变化量正比于被测液位高度h 。 ⑵介质插入极板深度： 两平行电极固定不动，极距为d0，相对介电常数为εr2的介质，以不同深度插入电容器中。 设传感器初始电容： 传感器总电容量C为： 可见，电容的相对变化量与电介质εr2的移动量L成线性关系。 3.4电容式压力传感器 3.4.2 测量电路 电桥电路、调频电路、脉冲调宽电路和运算放大器式电路等。 1、桥式电路: 差动型电容传感器 空载电压为： 3.4电容式压力传感器 2、紧耦合电桥电路 紧耦合电桥理论可得此状态下输出电压 在两L0非耦合情况下， 输出电压为： 3.4电容式压力传感器 3、差分脉冲调宽电路 差动脉冲调宽电路属脉冲调制电路。它利用对传感器电容充放电使输出脉冲的宽度随电容量的变化而变化，再经低通滤波器可得对应被测量变化的直流信号。其基本出发点是构成一个频率稳定的方波发生器，以电容变化来调节占空比，由此引起平均直流分量的变化。 输出的直流电压与传感器两电容差值成正比。 3.4电容式压力传感器 4、调频电路 将电容式传感器接入高频振荡器的LC回路中，当被测量使电容变化时，振荡频率也相应变化，故称为调频电路。 图所示为调频电路原理图 3.4电容式压力传感器 3.4电容式压力传感器 　当被测信号不为0时，ΔC≠0， 振荡器频率有相应变化， 此时频率为: 3.4电容式压力传感器 5、运算放大器式电路 这种线路的最大特点是从原理上克服单个变间隙电容式传感器的非