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國立交通大學奈米中心 國立交通大學 奈米中心實驗室 儀器名稱  中文名稱： 高解析度場發射掃描式電子顯微鏡 暨 能量散佈分析儀 英文名稱： High-Resolution Scanning Electron Microscope Energy Dispersive Spectrometer 英文簡稱： SEM EDS  儀器廠牌、型號及儀器購置年限  廠牌：Hitachi 型號：S-4700I 儀器購置年限：民國88年5月1日 服務項目 電子顯微鏡觀察（SEM）： 高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構。 表面能階分析（EDS）： 特定位置表面材料成分電子能階 光譜分析，用以判斷表面材料或 污染的組成。 重要規格 電子源：冷陰極電子槍 操作電壓：0.5kV~30kV 試片尺寸：25mm diameter x 25mm(t) 工作距離：目前設定在12mm 解析度：1.5nm (at 15kV) or 2.5nm (at 1kV) 放大倍率50萬倍（依試片本身而定） 二次電子解析度1.5nm(15kV下) EDS可提供全能譜定性分析（B5~U92）、 定量分析及元素分佈圖 掃瞄式電子顯微鏡原理 (SEM Scanning Electro