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§仪器精度设计 可调整光程的激光测长机 （1）测量装置及测量过程 （2）测长机测量结果不确定度分析 2017-3-31 2017-3-31 §可调整光程的激光测长机 测长机：以线纹尺的刻度或光波波长作为已知长度，利用机械测头进行接触测量的光学长度测量工具。 测长机具有能在3个坐标内移动和2个坐标内转动的可调工作台，还有不同测头和附件，常用于检定大尺寸量块和测量多种工件的内、外尺寸。测长机有1米、3米、6米等几种范围，分度值通常为1微米。测量范围在1米以内的习惯上称为测长仪。 激光测长机：以激光波长作为长度基准，采用激光干涉系统进行长度测量的测长机，其示值可以在数显表或电脑上显示。 2017-3-31 §可调整光程的激光测长机 1测量装置 1.1激光干涉仪原理 激光干涉仪原理如图l所示。从激光光源发射出标称波长为633nm的激光光束①，波长稳定性小于0.05×10-6。光束通过线性干涉镜组件，被分成反射光束②和透射光束③。 图1激光干涉仪原理 2017-3-31 §可调整光程的激光测长机 图1激光干涉仪原理 这两束光经各自的线性反射镜反回线性干涉镜组件中，被探测器接收。如果两束光的光程差发生变化，探测器将观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。由此计算两光程差的变化。测量的长度d可表示为： d=n·A／2 式中：n为条纹数；A为激光波长。 2017-3-31 §可调整光程的激光测长机 1.2测长机系统结构 图2测长机装置结构 图2中：l为激光器；2为移动工作台；3为线性干涉镜组件；4为线性反射镜；5为三维调整附件；6为尾座；7为调节转台；8为被测件；9为头座；10为高精度测头；11为基座；12为温度及空气传感器；13为计算机。 2017-3-31 §可调整光程的激光测长机 在测长机尾座上安装线性反射镜及三维调整附件。实际安装测量组件时，测量轴线与激光干涉仪光轴的重合性调整至1mm以下较为困难。因此，设计了三维调整附件，如图3所示。线性反射镜安装于三维调整附件的可调平板上，使线性反射镜在横向、纵向和俯仰方向精确移动，保证测量轴线与激光干涉仪光轴的重合，使测量系统符合阿贝原则，并减小余弦误差。对零装置使用分度值为0.01um的数显电感测微仪，也可使用高精度线位移传感器代替。 2017-3-31 §可调整光程的激光测长机 1.3 测量过程 测量时，将移动工作台放置于测长机导轨上，将激光器固定在移动工作台上，用移动工作台的辅助装置对激光器进行位移和角度的微调整。移动工作台在测长机导轨上的位置，可根据被测长度的大小进行调整，并保证线性干涉镜组件与线性反射镜保持最佳测量距离。通过以上措施，在被测长度范围内，可大幅度减小环境参数对激光干涉仪光程的影响，进一步提高测长机的测量准确度。 图2测长机装置结构 2017-3-31 §可调整光程的激光测长机 2. 测长机测量结果不确定度分析 以测量4等量块的中心长度为例，进行测长机测量结果不确定度的分析。4等量块中心长度的测量不确定度为0.2um+2×lO-6L，为能够对其直接测量，需对测量中产生的各项误差进行分析，消除或减小其中影响较大的误差。并根据分析结果，对各测长机各组成部分进行精度分配，以达到设计指标的要求。现对优化后的测长机进行测量不确定度分析。 2017-3-31 §可调整光程的激光测长机 2.1激光干涉仪引入的不确定度分量u1 激光器测量组件可根据被测量块的尺寸大小，改变其光程，提高测量准确度。根据Edlen公式可得激光干涉仪位移量为： LPIF=L+[93.0(T-20)-0.2683(P-101325)+0.0371(F-1333)]×10-8 式中：L为激光干涉仪标称波长在测量环境下测得的位移值；为光路平均温度℃；P为光路气压Pa；F为光路中空气水蒸气分压Pa。根据上面公式，得激光干涉仪长度测量的误差为： 2017-3-31 §可调整光程的激光测长机 2.2 测头装置分辨力/重复性引入的不确定度分量U2 (1)测头装置分辨力引入的不确定度分量U2a采用分度值为0.01um的数显电感测微仪，由于为两次读数，则有： 该误差服从三角形分布，得： 2017-3-31 §可调整光程的激光测长机 (2)测头装置重复性引入的不确定度分量U2b 采用长度为l000mm的3等量对激光i赆0长机进行重复性实验，并计算实验标准偏差。 因此，取U2=U2b=0.11um。 2017-3-31 §可调整光程的激光测长机 2.3 测长机导轨直线度引入的不确定度分量U3 当实际调整时，不可能使测量轴线与激光干涉仪光轴完全重合，故引起误差： 式中： 为偏离测长机测量轴线产生的误差；△L为测量轴线与激光干涉仪光轴的偏离距离； 为以弧度表示的测长机导轨直线度。 因此，得：