传感器第六章.ppt

石英晶体的压电效应演示 当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同；当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。 压电传感器只能应用于动态测量 由于外力作用在压电元件上产生的电荷只有在无泄漏的情况下才能保存，即需要测量回路具有无限大的输入阻抗，这实际上是不可能的，因此压电式传感器不能用于静态测量。压电元件在交变力的作用下，电荷可以不断补充，可以供给测量回路以一定的电流，故只适用于动态测量（一般必须高于100Hz，但在50kHz以上时，灵敏度下降）。 天然形成的石英晶体外形（续） 石英晶体 一种天然晶体，压电系数d11＝2.31×10－12C/N；莫氏硬度为7、熔点为1750℃、膨胀系数仅为钢的1/30。 优点： 转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃（压电系数不随温度而改变）、工作湿度高达100%、稳定性好。 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 石英晶体振荡器（晶振） 石英晶体在振荡电路中工作时，压电效应与逆压电效应交替作用，从而产生稳定的振荡输出频率。 切片上电荷的符号与受力方向的关系 石英晶体的压电效应 （分析之一） 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。 无铅压电陶瓷及其换能器外形 （上海硅酸盐研究所研制） 压电陶瓷的压电效应 压电机理与压电晶体不同。 陶瓷片极化 压电陶瓷的正压电效应 6.1.3 高分子压电材料 典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯（PVF2或PVDF）、聚氟乙烯（PVF）、改性聚氯乙烯（PVC）等。它是一种柔软的压电材料，可根据需要制成薄膜或电缆套管等形状。它不易破碎，具有防水性，可以大量连续拉制，制成较大面积或较长的尺度，价格便宜，频率响应范围较宽，测量动态范围可达80dB。 高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆 可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板 压电式脚踏报警器 高分子压电薄膜制作的压电喇叭（逆压电效应） 1. 压电元件的等效电路 压电式传感器的等效电路 测量电路关键在高阻抗的前置放大器 注：压电式传感器要求负载电阻RL必须有很大的数值，才能使测量误差小到一定数值以内。 注释：如果负载RL不是无穷大，则电路就要以时间常数RLCa按指数规律放电。 因此常先接入一个高输入阻抗的前置放大器，然后再接一般的放大电路及其它电路。 前置放大器两个作用: 一是把它的高输出阻抗变换为低输出阻抗； 二是放大传感器输出的微弱信号。 灵敏度 既然压电传感器可以等效为电压源或电荷源，那么，压电传感器的灵敏度也有两种表示方式。 一种用单位外力作用下产生的电压表示，称为电压灵敏度，用ku表示，ku=u/F； 另一种则可用单位外力作用下产生的电荷表示，称为电荷灵敏度，用kq表示，kq=q/F。 电压灵敏度与电荷灵敏度的关系用下式表示： 压电传感器低频响应特性的改善 提高回路的时间常数（原因：电路以时间常数RLCa按指数规律放电。 ） 不能提高测量回路的电容量（原因：传感器的电压灵敏度与电容成反比（是因为U=Q/C么？）） 提高测量回路的电阻（传感器本身的绝缘电阻一般都很大，所以测量回路的电阻主要取决于前置放大器的输入电阻。放大器的输入电阻越大，测量回路的时间常数就越大，传感器的低频响应就越好。） 电压放大器应用限制 压电式传感器在与电压放大器配合使用时，连接电缆不能太长。电缆长，电缆电容Cc就大，电缆电容增大必然使传感器的电压灵敏度降低。 电压放大器与电荷放大器相比，电路简单，元件少，价格便宜，工作可靠，但是电缆长度对传感器测量精度的影响较大，在一定程度上限制了压电式传感器在某些场合的应用。 解决电缆问题的办法 将放大器装入传感器中，组成一体化传感器。 四通道电荷放大器外形 四通道电荷放大器指标（参考东方振动和噪声技术研究所资料） 灵 敏 度：0.1～1000mV/pC???????频率范围：0.3～100KHz ?????? ?噪声(最大增益)：折合至输入端小于5μV???????准 确 度：1%???????最大输出：±10V/10mA???????电????源：220V/50Hz? ?控制方式：?计算机或手动 超小型电荷放大器模块 主要指标:???????灵 敏 度：1、10、100mV/pC(任选一档)???????频率范围：0.3～100KHz(上、下限可选)???????噪声(最大灵敏度)：输出端小于1mV???????归 一 化：外接电阻调整???????线性误差：1%??