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压电陶瓷驱动电源的研究
压电陶瓷驱动电源的研究
随着精密工程与精细工程的迅速发展,亚纳米和纳米级定位技术和微动伺服技术已成为微机电系统、超精密加工和生物工程等前言学科的关键技术。
压电陶瓷驱动器系统作为理想的纳米级微位移器件具有体积小、位移分辨率高、频响高、承载力大、无噪声、不发热等优点。
但压电陶瓷存在的迟滞蠕变等非线性特性给控制带来了困难,制约了应用。
驱动电源是引起其迟滞蠕变现象的主要原因之一。
课题的研究意义
压电陶瓷驱动电源分为两种:电压型驱动电源和电流型驱动电源。
电压型驱动电源又分为两种:直流放大式驱动电源和开关式驱动电源。
①基于直流变换原理的开关式驱动电源原理图如图1所示:
驱动电源的分类
图 1 开关式驱动电源原理图
特点:
功耗小、效率高、体积小等优点
高频干扰大、输出纹波大、频响范围窄等缺点
②直流放大式驱动电源原理图如图2所示:
图 2 直流放大式驱动电源原理图
特点:
输出纹波小、频响范围较宽等优点;
使用分立器件构成高压放大器时得注意输出电压的非线性、频响、自激振动等问题
针对分立元件构成高压运放所存在的问题,专家学者提出了各种解决方案:
文献【1】采用恒流源代替三极管基极电阻,有效降低了输出电压的纹波;
文献【2】采用超前电容补偿和引入补偿电阻来消除驱动容性负载产生的自激现象;
文献【3】利用集成高压运放PA85配合少量外围器件,有效解决了电压非线性问题,提高了频响,减小了自激。
电荷控制型驱动电源可以明显地改善压电陶瓷的迟滞和蠕变;但由于压电陶瓷的内阻高,充电电流小,响应时间长,更适合于静态或对频响要求不高的场合。
文献【4】采用集成元件代替分立元件,恒流源驱动,获得了良好的动态性能。
文献【5】提出的带补偿性质的电流源可以使迟滞和蠕变都降至1.5%,非常适合于静态定位。
文献【6】提出一种附加电极板电荷反馈控制方法,其位移与诱导电荷间的迟滞仅为1.7%
电荷控制型驱动电源
基于电压驱动方式的压电陶瓷驱动电源结构简单,可控性
强,技术比较成熟,但是存在迟滞、蠕变、带宽窄等固有缺点。
为克服这些缺点使控制线性化,需要引入反馈环节,或者添加控制算法,这增加了控制的复杂程度,降低了可控性。
使用电流驱动方式可以通过控制电荷来线性控制压电陶瓷位移,简化控制过程,提高开环控制精度,
电流驱动方式却因电路中各种漏电流的存在很难达到静态稳定。
参考文献
[1] 冯晓光,赵万生,栗岩,等.减小压电陶瓷驱动电源纹波的 一种有效方法.哈尔滨工业大学学报, 1997, 19(1): 35-38.
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