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射频磁控溅射法制备ZnO/Ag/ZnO薄膜及其光学性能研究王菊，马春雨2(1.大连理工大学物理与光电工程学院，辽宁大连 116024)(2.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，辽宁大连 116024)摘要：采用射频磁控溅射法制备不同厚度Ag夹层的ZnO/Ag/ZnO多层膜。研究了不同的中间层Ag对ZnO可见光增透和荧光强度的影响。利用场发射扫描电子显微镜（FESEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见分光光谱仪、光致发光（PL）光谱对多层膜ZnO/Ag/ZnO的形貌、结构和光学特性进行研究。结果表明：表面等离子体共振波长的展宽程度与Ag颗粒薄膜的形貌和尺寸有关；较薄的Ag薄膜（厚度小于10nm）呈现椭球状，每个颗粒孤立、均匀分布；而较厚的Ag薄膜（厚度大于10nm）球状结构逐渐融并，形成岛与海峡构造；Ag层的厚度约为3.2nm时，ZnO/Ag(8s)/ZnO薄膜在500~700nm波长范围内光学透过率明显增强；随着Ag夹层厚度增加, ZnO/Ag/ZnO多层薄膜紫外荧光发射和可见荧光发射强度均增加，Ag层的厚度约为10nm时，ZnO/Ag/ZnO多层薄膜紫外发光增加5倍，可见发光增加20倍。关键词：磁控溅射；ZnO/Ag/ZnO多层膜；结构；光学性质；局域表面等离子体；中图分类号：(0484.4) 文献标识码：A1引言金属纳米颗粒具有许多传统材料无法比