扫描探针显微镜 李振.ppt

扫描探针显微镜探针的制造 李振The fabrication of SPM probe SPM探针 探针是SPM中最关键的部件。不同的探针能够测量样本不同的特性。探针还决定了显微镜的分辨率 最常见的探针结构是悬臂结构 悬臂结构 SPM探针 探针的分类 通过使用不同的材料，探针可以测量样本的不同特性 磁性探针——MFM 光学探针——NSOM 静电力探针——EFM 热力学探针——STHM 电容探针——SCM 电子探针——STM 悬臂结构 结构：探针针尖和悬臂梁 材料：硅、氮化硅 方法：光刻加工 主要形式：V型悬臂（垂直方向弹性好，侧向刚度高） V型悬臂 悬臂结构 探针制造的考虑因素 探针针尖 悬臂梁 尖端锐度 探针深长宽比 导电性 耐磨损性 弹性系数 谐振频率 固有弯曲 表面粗糙度 传统制作方法 扫描隧道显微镜探针针尖的制作 将钨丝擦拭干净，固定并插入液面中心。 通直流电 溶液的表面张力使钨丝周围围成弯液面。液面出的钨丝反应速率最快，从而形成了尖。 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺 硅探针制造工艺