电子能谱学5.ppt

电子能谱学第5讲X射线光电子能谱的应用 朱永法 清华大学化学系 2002.10.22 XPS的应用方面 无机物的鉴定 有机物的鉴定 分析化学应用 表面化学应用 材料研究应用 催化研究应用 电子材料研究 机械材料研究 薄膜功能材料研究 无机物的研究 定性分析 元素定量分析 自旋状态（过渡金属，稀土元素） 分子结构及电子结构分析 价态测定 XPS研究金属元素的自旋状态 多重裂分研究未成对电子 多重裂分研究未成对电子 结合能与形式电荷的关系 氧化态的研究 氧化态的研究 配体的影响 无机结构测定 XPS研究无机物的价带结构 有机物和聚合物研究 有机及聚合物分析特点 可能会产生辐照损伤； 有机溶剂的挥发 检测深度要比金属和无机物深，30nm 一般是不导电的，需要荷电校准 可以分辨不同结构的元素 XPS定量分析高聚物成份 携上峰信息 价带峰信息 催化剂研究 催化剂表面元素的定性分析 催化剂表面元素的含量分析 催化剂表面元素的存在价态分析 催化剂失活分析 薄膜材料研究 纳米材料的合成 XPS应用－碳物种研究 XPS应用－碳物种研究 XAES应用研究 XAES和分散图研究F物种 Cu腐蚀机理研究 Cu腐蚀机理研究 XPS研究单层分散 XPS研究自组装 XPS研究深度剖析 摩擦化学 Figure 1 The Ti 2p spectra of PZT layer in PZT/Si and PZT