透射电子显微概论.pptVIP

透射电子显微技术 ---工作原理 电子与物质的作用: 吸收电子 随着入射电子与样品中原子核或核外电子发生非弹性散射次数的增多，其能量和活动能力不断降低以致最后被样品所吸收的电子叫吸收电子。 透射电子  它是入射束的电子透过样品而得到的电子。它仅仅取决于样品微区的成分、厚度、晶体结构及位向等。 二次电子 入射电子射到试样上使表面物质发生电离，被激发的电子离开试样表面而形成二次电子，又称为次级电子；二次电子在电场的作用下呈曲线运动翻越障碍进入监测器，因而试样表面凹凸的各种信息都能清晰成像。其强度与试样表面的几何形状等有关，二次电子的能量比较低，一般小于50eV。 背散射电子  入射电子与试样作用，产生弹性散射或非弹性散射后离开试样表面的电子；背散射电子基本上不受电场的作用而呈直线运动进入监测器，其强度与试样表面形貌和元素组成有关。背散射电子的能量比较高，其约等于入射电子能量E0 。 俄歇电子 在入射电子束的作用下，试样中原子某一层电子被激发，其空位由高能级的电子来填充，使低能级的另一个电子电离，这种由于从高能级跃迁而电离逸出试样表面的电子称为俄歇电子；每种元素都有自己的特征俄歇能谱，因此可以利用俄歇电子能谱进行轻元素分析。 特征X射线 原子的内层电子受到激发之后，外层电子填充到内层上，多余的能量以辐射形式放出，产生特征X射线。各种元素都有自己的特征X射线，可用来进行微区成分分析。 一、透射电子显微镜的成像原理 电子光学原理简述 ? 从功能和工作原理上讲:电子显微镜和光学显微镜是相同的。其功能都是将细小物体放大到肉眼可以分辨的程度；工作原理都遵从射线的Abbey成像原理。 Abbey成像原理 ? 1873年，Ernst Abbe在研究如何提高显微镜的分辨率时，提出相干成像的新理论。 ? 将一束单色平行光照射到平面物体ABC上，使整个系统成为相干成像系统。 ? 光波经物体发生Fraunhofer衍射，在透镜后焦面上形成物的衍射花样。 ? 透镜后焦面上所有点作为新的次波源发出相干的球面次波在像平面上相干叠加给出物体的像。 阿贝成像理论: （Abbe theory of image formation） 透射电子显微镜光路原理图 成像原理与光学显微镜类似。 它们的根本不同点在于光学显微镜以可见光作照明束，透射电子显微镜则以电子为照明束。在光学显微镜中将可见光聚焦成像的是玻璃透镜，在电子显微镜中相应的为磁透镜。 由于电子波长极短，同时与物质作用遵从布拉格（Bragg）方程，产生衍射现象，使得透射电镜自身在具有高的像分辨本领的同时兼有结构分析的功能。 透射电镜的工作原理 二. 主要部件的结构与工作原理 (一) 样品平移与倾斜装置（样品台Specimen Holders ） 电镜样品小而薄，通常用外径3mm的样品铜网支持，网孔或方或圆，约0.075mm。 样品台的作用是承载样品，并使样品在物镜极靴孔内平移、倾斜、旋转，以选择感兴趣的样品区域或位向进行观察分析。平移是样品台的基本动作，平移最大值? 1mm。 倾斜装置用的最普遍的是“侧插”式倾斜装置 双倾台是最常用的，沿X和Y轴倾转 ? 45度。 样品台的倾斜和旋转装置可以进行三维立体分析，测定晶体的位向、相变时的惯习面以及析出相的方位等。 有的样品杆本身还带有使样品倾斜或原位旋转的装置。这些样品杆和倾斜样品台组合在一起成为侧插式双倾样品台和单倾旋转样品台。 (二) 电子束倾斜与平移装置 新式电镜都带有电磁偏转器，使入射电子束平移和倾转，其原理见图，上、下两线圈联动的。利用电子束原位倾斜可以进行中心暗场成像操作。 电子束平移和倾斜的原理图 （a） 平移 （b） 倾斜 (三) 消像散器（Stigmators） 作用：消除或减小透镜磁场的非轴对称性，把固有的椭圆形磁场校正成旋转对称磁场的装置。 消像散器分为两类：机械式；电磁式。 机械式：电磁透镜的磁场周围放置几块位置可以调节的导磁体来吸引部分磁场。 电磁式：通过电磁极间的吸引和排斥来校正磁场，如图所示，两组四对电磁体排列在透镜磁场外围，每对电磁体同极相对安置。通过改变两组电磁体的励磁强度和磁场的方向实现校正磁场。 消像散器一般安装在透镜的上、下极靴之间 (四) 光阑（Diaphragm holders and choice of diaphragms） 透射电镜有三种主要光阑（ Types of diaphragms ） 聚光镜光阑（ Condenser lens holder） 物镜光阑（ Objective lens hol