中文版 意大利薄膜设备有限公司产品介绍.pptVIP

Confidential * TFEtechnology Thin Film Equipment srl Products Introduction By Sunny YANG TFE srl 介绍 TLC SRL–TFE公司 1998–2001 最初 从事收购，翻新和重新出售二手真空沉积工具 -Eclipse和MRC batch 溅射系统 今天 该公司的产品组合，延伸到各种高技术薄工艺设备 产品范围包括batch溅射系统，客户应用程序特定的真空和超高真空系统，和零部件的 种洁净室设备 公司有专门的销售人员，客户服务人员，和一支现场服务工程师和工艺工程师。 TFE公司是总部设在米兰，意大利 TFE srl 支持 TFE是通过网络化的多个组织提供本地服务支持。 办公地点有德国，法国，英国，西班牙，意大利...... TFE 天津代表处 TFE天津代表处 2009 TFE翻新的MRC Eclipse sputter工具在中国的业务 代表一群小型的总部欧洲的全新的和翻新的设备供应商进行销售以及技术支持 我们专注于为前端客户提供半导体和太阳能电池薄膜加工设备 TFE天津代表处的优势 多年的设备管理，薄膜的前端工艺设备专家尤其是sputter（PVD）设备和应用 为客户提供优质服务支获得声誉。 经验丰富的销售和支持团队 TFE 天津代表处 TFE天津代表处 2009 TFE翻新的MRC Eclipse sputter工具在中国的业务 代表一群小型的总部欧洲的全新的和翻新的设备供应商进行销售以及技术支持 我们专注于为前端客户提供半导体和太阳能电池薄膜加工设备 TFE天津代表处的优势 多年的设备管理，薄膜的前端工艺设备专家尤其是sputter（PVD）设备和应用 为客户提供优质服务支获得声誉。 经验丰富的销售和支持团队 Thin Film Equipment srl TFE 溅射设备分为: 翻新改造类: - MRC 600: ：垂直配置 - MRC 900: : 水平配置 - MRC Eclipse: 单片溅射设备 : 垂直配置 全新的设备: : BHF3F/S; BH4F/S MRC Batch 产品客户： Semileds – 1 x MRC 943 - Refurbished – 2011/5 Solar SCI – 1 x MRC 643 and 1 x MRC 943 – refurbished -2012/3 Institute 55 – 1 x MRC 603 – Saw – Refurbished - 2011/8 Solorein – 1 x MRC 943 – Refurbished - 2011/11 Corenergy: 1x MRC 603- Refurbished – 2014/06 Institute 55: 1x TFE 644 – YZ Guoyu - 2013/12 Institute 55: 1x BH4F- Brand new – WBG - 2014/08 MRC Eclipse 产品客户： Dongguang – 2 x Eclipse Star – Refurbished – 2011/3 Thin Film Equipment srl 成功案例： Thin Film Equipment srl 垂直配置的设备 配置三个阴极+ 加热和刻蚀功能 承载腔配备机械泵 负载腔配备冷泵 MRC 603 MRC 600: Thin Film Equipment srl Thin Film Equipment srl MRC 643 垂直配置的设备 三个阴极+加热和刻蚀功能 负载腔和溅射腔均配置冷泵 MRC 903: 水平配置的设备 配置三个阴极+加热和刻蚀功能 负载腔配置机械泵 溅射腔配置冷泵 MRC 943: 水平配置的设备 配置三个阴极+加热和刻蚀功能 负载腔和溅射腔均配置冷泵 Thin Film Equipment srl MRC 943: Thin Film Equipment srl MRC 900: Thin Film Equipment srl 900和600系列配置比较表 溅射面积 配置形式 负载腔泵体 种类 刻蚀功能 靶材数量 及尺寸 603 13” x13” 垂直配置 机械泵 YES 标配 3 5”x15” 903 12” x12” 水平配置 机械泵 YES 标配 3 5”x15” 643 13”x13” 垂直配置 机械泵+冷泵 +压缩机+加热 YES 标配 3 5”x15” 943 12”x12” 水平