光学镀膜真空导论.pptVIP

真空技术 前言 1643年，意大利物理学家托里折利演示了著名的大气压实验，揭示了“真空”这一物理状态。 为了使被研究的样品不被周围气氛所污染，获取“原子清洁”的表面，薄膜制备和衬底表面形成过程往往是在真空或超高真空中进行的。目前，人们所广泛使用的薄膜制备系统都具有真空系统，光学镀膜也是如此。不管是采用蒸镀还是溅射方式，都必须在真空环境下进行。“真空”是光学镀膜技术的基础。了解与镀膜相关的真空知识对于掌握镀膜工艺和操作至关重要。 一、真空基础 真空的定义 真空现象 真空的衡量 真空的划分 真空的获得 真空的获得 最常见泵的工作原理 5、相对湿度较高或被抽气体中含水汽等可凝性蒸汽时，应使用气镇阀。 6、按说明书推荐选用真空泵油。注意酯类真空泵油不可与矿物油型真空泵油和其他油类混用，必须严格清洗后才能换入酯类真空泵油。 7、检查泵的极限压力以压缩式水银真空计为准。全压力计应注意做好计与规管的配对校准和备用比对规管。建议在规管与被测泵之间装一球阀。不测时关阀，可延长规管使用时间。 气镇阀工作原理 由于大气中都含有一定量的水蒸气，所以泵工作时所抽除的气体多是某些可凝性气体和永久性气体的混合物。这种混合气体在泵内被压缩排气的过程中，如果可凝性气体的分压力超过了泵温下的饱和蒸气压，那么它们就会凝结并与泵油混合，随油一起循环。当它们返回到高真空端时又重新蒸发变成蒸汽。随着泵的运转，凝结物不断增加