薄膜课件薄膜生长8.pptVIP

中南大学物理学院 薄膜生长过程概述 新相的自发形核理论 新相的非自发形核理论 连续薄膜的形成 薄膜生长过程与薄膜结构 非晶薄膜 薄膜织构 以 Ag 在 NaCl (111) 晶面上的蒸发沉积为例，所有照片均为电镜原位观察获得 基本规律： 薄膜形成的最初阶段，一些气态原子/分子开始凝聚到基片表面，开始形核； 在气态 Ag 原子到达基片表面的最初阶段，先是在基片上附着并凝聚，形成一些 均匀细小、而且可以运动的 原子团，这些原子团被形象地称为“岛”； 三种不同薄膜生长模式的示意图： 在层状外延生长表面是表面能比较高的晶面时，为了降低表面能，薄膜力图将暴露的晶面改变为低能晶面。因此薄膜在生长到一定厚度之后，生长模式会由层状模式转变为岛状模式转变。 结论： 接触角越小，即衬底与薄膜的润湿性越好，则非自发形核的能量势垒降低得越多，非自发形核的倾向也越大。在层状模式时，形核势垒高度等于零。 随沉积速率R增大， 和 降低，所以高的沉积速率将会导致高的形核速率和细密的薄膜组织。 三种核心相互吞并过程： 奥斯瓦尔多（Ostwald）吞并过程 熔结过程 原子团的迁移 形态1（细纤维状形态 ） 形成原因： T低，气压P高的条件下，入射 粒子的能量较低，原子的表面 扩散能力有限，薄膜的临界核 心尺寸小，在沉积过程中 会不断地产生新的核心