* 第四节 光栅传感器 4、光栅的光路 透射式圆光栅 透射式光栅 * 第四节 光栅传感器 4、光栅的光路 反射式光栅 * 第四节 光栅传感器 5、辨向原理 单个光电元件接收一固定点的莫尔条纹信号,只能判别明暗的变化而不能辨别莫尔条纹的移动方向,因而就不能判别运动零件的运动方向,以致不能正确测量位移。 如果能够在物体正向移动时,将得到的脉冲数累加,而物体反向移动时可从已累加的脉冲数中减去反向移动的脉冲数,这样就能得到正确的测量结果。 * 第四节 光栅传感器 5、辨向原理 在相距的位置上设置两个光电元件1和2, 以得到两个相位互差90°的正弦信号 辨向光路设置 * 第四节 光栅传感器 5、辨向原理 正向移动时脉冲数累加,反向移动时,便从累加的脉冲数中 减去反向移动所得到的脉冲数,这样光栅传感器就可辨向。 辨向电路 * 第四节 光栅传感器 5、辨向原理 辨向电路各点波形图 * 第四节 光栅传感器 6、细分技术 提高分辨力方法: 在选择合适的光栅栅距的前提下,以对栅距进行测微,电子学中称“细分”,来得到所需的最小读数值。 细分就是在莫尔条纹变化一周期时,不只输出一个脉冲,而是输出若干个脉冲,以减小脉冲当量提高分辨力。 * 第四节 光栅传感器 6、细分技术 (1)直接细分 直接细分又称位置细分,常用的细分数为4。四细分可用4个依次相距的光电元件,在莫尔条纹的一个周期内将产生4个计数脉冲,实现了四细分。 优点:对莫尔条纹信号波形要求不严格,电路简单,可用于静态和动态测量系统。 缺点:光电元件安放困难,细分数不能太高。 * 第四节 光栅传感器 6、细分技术 (1)直接细分 未细分(a)与细分(b)的波形比较 * 第四节 光栅传感器 6、细分技术 (2)电阻电桥细分法(矢量和法) 用此信号去触发施密特电路 * 第四节 光栅传感器 6、细分技术 (2)电阻电桥细分法(矢量和法) 电阻电桥细分法用于10细分 * 第四节 光栅传感器 6、细分技术 (c)电阻链细分法(电阻分割法) 等电阻链细分电路 实质:用电阻衰减器来进行细分。 * 第四节 光栅传感器 7、产品 位移 * 第四节 光栅传感器 7、产品 量程:70mm~2170mm 精度:0.0005mm 量程:50mm~2200mm 精度:0.0001mm * 第四节 光栅传感器 7、产品 检测小物体 角位移 第四节 光栅传感器 8、应用介绍 光栅在机床上的安装位置(2个自由度) * 第四节 光栅传感器 8、应用介绍 光栅在机床上的安装位置(3个自由度) 数显表 * 第四节 光栅传感器 8、应用介绍 安装有直线光栅的数控机床加工实况 防护罩内为直线光栅 光栅扫描头 被加工工件 切削刀具 角编码器安装在夹具的端部 * 第三节 光纤传感器 6、光纤传感器的应用 采用弹性元件的光纤压力传感器 差动式膜片反射型光纤压力传感器 1.输出光纤 2.输入光纤 3.输出光纤 4.胶 5.膜片 两束输出光的光强之比 A―常数; p―待测量压力 输出光强比I2/I1与膜片的反射率、光源强度等因素均无关 * 第三节 光纤传感器 6、光纤传感器的应用 采用弹性元件的光纤压力传感器 差动式膜片反射型光纤压力传感器 将上式两边取对数,在满足(Ap)2≤1时,得到 表明待测压力与输出光强比的对数呈线性关系。 若将I1、I2检出后分别经对数放大后,再通过减法器 即可得到线性的输出。 采用不同的尺寸、材料的膜片,可获得不同的测量范围。 * 第三节 光纤传感器 6、光纤传感器的应用 光弹性式光纤压力传感器 光弹性效应:晶体在受压后其折射率发生变化,从而呈现双折射现象。 1、光源 2、8 起偏器 3、9 1/4波长板 4、10 光弹性元件 5、11 检偏器 6 光纤 7 自聚焦透镜 * 第三节 光纤传感器 6、光纤传感器的应用 光弹性式光纤压力传感器 在光弹性元件上加上质量块后,也可用于测量振动、加速度 * 第三节 光纤传感器 6、光纤传感器的应用 微弯式光纤压力传感 基于光纤的微弯效应,即由压力引起变形器产生位移,使光纤弯曲而调制光强度。 1 聚碳酸酯薄膜 2 可动变形板 3 固定变形板 4、5 光纤 微弯式光纤水听器探头 * 第三节 光纤传感器 6、光纤传感器的应用 光纤传感器举例--基于微弯效应测压力 F 光强调制;相位调制;偏振态调制;波长调制 微弯效应:光纤在微弯时引起纤芯中传输的光部分投入包层 (全反射条件受到一定破坏),造成传输损耗,微弯程度不同,泄漏光波的强度也不同,从而达到光强度调制的目的。 * 100 80 60 40 20 0 0.5 1.0 1.5 2.0 透射光强% 外力N 第三节 光纤传感器 6、光纤传感器
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