第四激光准直及多自由度测量素材.ppt

三、用激光准直仪制导镗内孔 * 多自由度测量的必要性: §4.5 激光多自由度测量技术 任何一个物体在空间都有六个自由度，即三个方向的平动和绕三个轴的转动 1.被加工工件的定位 2. 精密零部件的安装 3. 目标物体在空间的位置和姿态: 飞机、火箭等风洞实验 * 直角坐标机床的几何偏差 一、两自由度测量系统 * 平面型结构 反射型结构 测量参数：Δx，Δy 结构类型：1.平面式 2. 反射式 二、四自由度测量系统 测量参数：Δx，Δy， Δθx，Δθy * 主要结构类型：1.中心孔式 2. 分光式 3. 反射式 三、五/六自由度测量系统 1.五自由度 * 角锥棱镜具有对光束方向不敏感的特性，由其反射回的光束所得的位置信息可反映水平和垂直方向上的直线度误差；平面反射镜仅对光束的偏摆和俯仰敏感，从平面镜反射回的光束可得到两个角位移误差（Pitch error 和Yaw error） 经反射镜5、2、3反射回的光束携带有滚转角误差的信息（Roll error） * 直线度测量原理 角度测量原理 如f=250mm，PSD探测器分辨率1μm，则角度分辨率为0.4。 2. 全息法测量5自由度 * 原理：利用全息光栅的分光特性，在激光准直光束中加入一个全息光栅，进行五个自由度的测量。 全息光栅制作：利用具有平面波前的参考光束和具有球面波前的物光光束在全息干板上干涉形成干涉条纹，曝光、定影形成。 * 衍射光束：光束2是照明光波的继续，全部保留入射光的光学特性；光束1为会聚的一级光束，是透镜A所产生的物光波前的真实再现，其偏角与物光束偏角一样，聚焦距离和全息干板到透镜A焦点的距离也完全一样；另一光束3为物光波的共轭光波。 测量过程：用二维PSD接收光束2的光，测量出靶标沿X、Y方向上的位移Δx，Δy；另一个二维PSD放在会聚光束1的焦点上，如果靶标只沿X、Y方向有移动，则全息光栅的焦点不会动，如果靶标在水平和垂直方向上作偏摆和俯仰运动，即产生偏角θx，θy，则光束1的焦点沿着PSD表面移动，将PSD输出的位置移动量转换成角度，即可测出θx，θy；光束3经过沃拉斯顿棱镜分为o光和e光，当靶标沿入射光转动时，入射面也随之相对转动，因而两束光光强之比出现变化，通过两个光电探测器测出滚转角θz。 在激光光源距靶标1m范围内，该系统的线位移测量精度为±4μm，偏摆、俯仰角的测量精度为±5”，但该转角的测量精度较低。 激光测量技术Laser Measurement Technology * 第四章 激光准直及多自由度测量 §4.1 激光准直测量原理 * 直线度误差是指被测实际轮廓线相对于理想直线的变动量；直线度测量是平面度、平行度、垂直度等几何量测量的基础 与长度测量的区别：长度测量需要来自外界规定的某种长度基准，被测长度与基准长度相比较而获得被测长度之值。直线本身有确切的几何意义，原理上不需要依赖外界的准绳，测量可以在“无直线基准”的情况下进行。 例：利用多个直尺的互检以及误差分离等技术，即可在“无直线基准”条件下获得高精度的直线测量结果。 * 传统方法: 建筑: 垂线法、拉钢丝法 大型设备安装:拉钢丝法 木工、机械加工:划线法 传统方法的特点: 简单,直观,易受环境因素影响,精度低 实际情况中，为了适应多种被测对象的需要，绝大多数直线度测量又是凭借某种直线基准进行。 常用的直线基准： 1、实体直线基准： （1）经过互检或误差分离后的具有高检定精度的平晶、长平晶、长直尺；（2）样板直尺、研磨面平尺、平尺、平板；（3）精密测量机的精密导轨；（4）紧张的钢丝。 2重力基准，包括受重力作用的液面，悬吊重物的铅垂直线 3 光线基准，包括准直的光束及激光束。 自准直光管和准直望远镜 测量精度10μm，使用自准直光管具有0.1级的灵敏度。 缺点:操作不方便，存在瞄准、调焦误差等；在较长的距离下，像质模糊，照度低，一般可靠的工作距离小于30m，此外也存在空气的干扰。 * 自准直光管 旋转目镜调节鼓轮 ⑴ 准直望远镜 ⑵ 叉丝像 分划板视场 透光窗 反射像 伸缩目镜筒 ⑶ * 具有拉钢丝法的直观性、简单性和普通光学准直的精 度，并可实现自动控制。 激光的出现给直线度误差测量开辟了新的途径 激光准直仪按工作原理可分为 1) 振幅测量法 2) 干涉测量法 3) 偏振测量法 优点 * 一、振幅（光强）测量法 以激光束的强度中心作为直线基准，在需要准直的点上用光电探测器接收它，光电探测器一般采用光电池或PSD。 特征 激光器的光束漂移 光束的非均匀性 探测器灵敏度不对称 空气的折射率梯度 气流的扰动等影响 缺点: 由四象限