蓝宝石基片CMP13浆料技术说明书.docxVIP

产品技术说明书产品详细名称：蓝宝石基片CMP浆料产品型号：UPP/SAS13产品简介UPP/SAS13型蓝宝石基片CMP浆料是南通海迅天恒纳米科技有限公司生产的新一代水溶性高纯胶体浆料，主要用于蓝宝石基片高质量化学机械平整化加工。该产品加工速率高，表面平整度、粗糙度达到国际先进水平，适用于各种加工方式。产品具有使用寿命长、光洁度高、稳定性好，易清洗等特点。在实际应用中其卓越的性能也得到了充分的肯定。目前已在国内多家国产生产线上获得很好的应用效果。主要特点UPP/SAS13型蓝宝石基片CMP浆料用特选的纳米SiO2水溶胶作为磨料，具有金属杂质沾污极少、易清洗、加工速率高、损伤层小、平整度高等特点。在CMP中根据需要可以优化不同配比，均能达到最佳使用效果。与国内外同类产品相比，该产品具有浓缩度高、磨料粒径均匀、表面张力小、产品稳定性高，有机物、金属离子及颗粒沾污少、加工速率高、高温不出现非均匀蚀坑等优点。产品无毒，不污染环境，对人体无害。主要用途产品主要用于蓝宝石基片的高质量平整化加工。基本参数PH值比重粘度（稀释后）磨料粒径磨料浓度氧化钠含量（%）11.00-12.00＞1.10＜10.0(mPa.s)30~40(nm)30%＜0.3使用方法 1、规格配比为CMP浆料：水=1：5，也可根据实际工艺要求改变配比。2、建议抛光流量200～250ml/min。3、建议抛光压力200～250g/cm2。4、建议抛光温度35℃～40℃。运输及保存1、避光运输、保存、保质期一年，建议半年内使用。2、运输与存放温度为5℃～45℃，25℃为最佳存放温度。3、 避免引入强电解质，避免金属、颗粒污染。注意事项1、 产品避免在温度过低（低于5℃）的环境下储存，同时也不能在太阳光下直接照射。2、 存放时不得出现温度的剧烈变化，温度变化不得过10℃。3、 为避免产生划伤，使用前应将产品先进行过滤处理；4、 夏天由于空气湿度较大，温度相对较高，因此抛光液不要敞口放置，而且循环使用要加过滤装置。5、 产品在5℃以上，45℃以下保存，且避免环境温度骤升或者骤降；保存时应避免与酸性或者强碱性物质接触。包装规格25Kg/桶