镀铜药液管理作业指导书.docVIP

作业指导书 作成 审核 批准 编号 DB-WI-H/PD-064 扈炎荣 版次 A1 页 1/3 生效日 2009．2．19 名称 电镀铜工序药液管理作业指导书 一、目的 为电镀铜工序的药液管理作业提供文件依据。 二、范围 本规范适合COF电镀铜工序，在操作此线时须遵守此规范。 三、安全 3.1开机时,必须确认各槽体液位正常，各阀门正确，防止药液外溢或外喷。 3.2 出现紧急情况需要紧急停车时使用急停设施， 3.3 对药水操作时，必须佩戴相关防护用具，包括胶手套、口罩、目镜、面罩、防护服等。 3.4 当一般药水溅到身体时，要及时清洗掉；当硫酸溅到身体时，要尽快先用抹布擦除后，用大量水冲洗；当药水溅入眼睛时，要尽快用喷流DI水冲洗并及时就医。所有药水不得饮食。 四、工艺流程介绍 4.1电镀铜工序工艺流程 4.2 药水操作参数表： 槽位 槽名 温度 药水名称 分析频率 标准值 标准范围 槽体规格 2 除油 40±5℃ WT-330 2次/周 13% 10—15% 470L 9 活化 室温 H2SO4 2次/周 8% 6—10% 470L 10 ～ 15 镀铜 23±3℃ CuSO4·5H2O 2次/周 75g/l 60—90g/L 1300L H2SO4 100ml/l 80—120ml/L Cl- 70ppm 50—80ppm 　放料水箱 室温 　柠檬酸 每天更新 6%　 3—10%　 / 修修改履历 版 次 作成时间 修 改 原 因 修 改 内 容 摘 要 A0 2008．3．242008.3.21 新规作成 -- A1 2009．2．19 参数修改 除油温度更改40±5℃（原为50±5℃） A1 2009．2．19 明确更换除油缸 原只有铜含量指标 作业指导书 编号 DB-WI-H/PD-064 版次 A1 页 2/3 生效日 2009．2．19 名称 电镀铜工序作业指导书 五、开线建浴 5.1过滤机不装过滤芯，盖好，对角拧紧螺丝； 5.2用3—5% NaOH洗槽2小时以上，要开打气循环搅拌； 5.3用3—5% H2SO4 洗槽2小时以上，要开打气循环搅拌； 5.4用DI水冲洗槽2次，每次要排净水，保证冲洗后槽内无固体杂质。 5.5开始建浴： 对建浴槽放入约1/2液位的DI水，加入对应量的药水， 然后补充到标准液位，充分搅拌后分析药水成分含量再做补充调整即可 槽位 槽名 规格 药水名称 标准含量 标准范围 加药量 2 除油 470L WT-330 13% 10—15% 60L 9 活化 470L H2SO4 8% 6—10% 38L 10 ～ 15 镀铜 1300L CuSO4·5H2O 75g/l 60—90g/L 100kg H2SO4 100ml/l 80—120ml/L 140L Cl- 70ppm 50—80ppm 按分析添加 　放料水箱 5L　 　柠檬酸 6%　 3—10%　 300g 六、药水分析补充 6.1分析频率：2次/周； 6.2分析项目：除油、活化、镀铜槽内所有在用药水； 6.3补充办法：分析出结果后，并做相关表单记录； 6.4对于含量突变的成分，必须做再分析确认，查找突变原因并在《电镀铜药水分析记录表》上做记录。 七、药水保养 7.1满负荷生产时，每月保养一次；经常间断性生产时由工程师判定保养时间 7.1.1铜槽药水保养方法：将保养槽冲洗排放干净后，抽出铜槽药水到保养槽，清洗铜槽并排放后，抽回药水； 7.1.2阳极保养方法：将阳极铜球倒出，用5%H2SO4+5%H2O2浸泡出红铜色后取出用DI水冲洗3遍以上，阳极篮和阳极袋同法处理； 7.1.3脱脂、活化药水，每次更新时做保养。 7.2 浸泡用柠檬酸：每日更新，以5L容量计， 加入柠檬酸300g配制即可[范围150—500g 作业指导书 编 号 DB-WI-H/PD-064 版 次 A1 页 3/3 生效日 2009．2．19 名称 电镀铜工序作业指导书 八、药水更新 8.1 WT-330除油剂：铜离子达到2000 PPM 后换新缸或生产1500平方或开槽三个月更换。 8.2 活化槽：1次/月 8.3 镀铜：电镀效果无法改善，需要工程部门判定后，更新。 1 脱脂 上料 三溢流水洗 活化 镀铜（6位） 三溢流水洗 下料 水洗烘干